【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种多功能研磨液供应结构，包括横向设置的臂杆以及穿设于所述臂杆内的研磨液管和清洗管，其特征在于，还包括环形导轨，所述环形导轨环绕设置于研磨平台的周缘外侧，所述臂杆的一端与所述环形导轨滑动连接，所述臂杆能够沿所述环形导轨转动，所述清洗管上设有向上喷射的清洗液的喷口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈枫，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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