【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种离子束均匀性的检测方法，包括下列步骤：获取离子注入机台检测离子束的取点位置在晶圆上的对应位置；采用所述离子注入机台对晶圆进行离子注入；测量所述对应位置的电阻值；根据所述电阻值判断离子束均匀性是否达标。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：阳厚国，
申请(专利权)人：无锡华润上华科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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