【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种带电粒子射束系统，包括：聚焦离子束源，其具有：离子源；源电极，用于将所述源电偏置到高压；以及提取器电极，用于从所述源提取离子；离子柱，其包括用于将来自聚焦离子束源的带电粒子聚焦到样本上的一个或多个聚焦透镜；以及系统控制器，用于：检测带电粒子射束系统的空闲状态；以及在已经检测到空闲状态时修改施加到源电极和/或提取器电极的电压以防止离子沿所述柱向下通过。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：T米勒，S克罗格，J兹布拉内克，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：
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