用于火花蒸发的具有火花扩散的空间限制的靶制造技术

本发明专利技术涉及一种用于ARC源的靶，具有由要蒸发的材料构成的第一本体（3），该第一本体（3）基本上在平面中具有被设置用于蒸发的表面，其中平面中的该表面包围中心区域，其特征是，在中心区域中设置与第一本体（3）设计为电绝缘的、优选被构造为片状的第二本体（7），使得第二本体（7）基本上不能提供用于维持火花的电子。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种根据权利要求I的前序部分的用于火花蒸发源的靶，以及一种与此相对应的火花蒸发源和一种借助于火花蒸发来制造层的方法。
技术介绍
在下文中应将火花蒸发理解为在真空下借助于蒸发的 物理涂层方法，其中阴极燃烧点从为此设置的表面使材料蒸发。在其中提供要蒸发的材料的装置在下文中称作靶。所述靶与用于火花点火的点火装置以及用于维持火花的电压源一起构成ARC源。在下文中将对阴极燃烧点的扩散的限制称为ARC约束。ARC源主要用所施加的磁场来运行。在此在靶处设置磁装置，该磁装置尤其是在靶外的要蒸发的靶材料之上、也就是至少在该要蒸发的靶材料附近但是在该靶材料表面的附近导致这样的磁力线分布，该磁力线分布影响阴极燃烧点在靶表面上的移动速度以及例如放电电压的放电条件。在产生磁场时的问题是，在在中心处不同于零的轴对称场中，磁力线在中心处总是垂直于表面地从靶射出。这对于圆形靶来说示意性地在图I中示出并且对于矩形靶来说示意性地在图2中示出。在磁力线基本上垂直于靶表面的区域中，阴极燃烧点的移动速度剧烈降低。该效应可以称作为阴极燃烧点在中心处的萎陷(Kollabieren)。这导致在该区域中在数量以及大小本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：S克拉斯尼策，J哈格曼，
申请(专利权)人：欧瑞康贸易股份公司特吕巴赫，
类型：
国别省市：