【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种磷扩散方法，其特征在于，包括：对扩散炉进行加热；当加热至三氯氧磷与氧气反应的温度后，通入设定流量的小氮以及氧气，并持续加热，其中，所述小氮为携带三氯氧磷的氮气，所述小氮的流量小于氧气的流量；当扩散炉内温度稳定在磷扩散要求的工艺温度后，使小氮的流量大于氧气的流量，开始磷扩散；预设时间的磷扩散后，进行退火处理。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王英超，熊景峰，胡志岩，李高非，赵文超，
申请(专利权)人：英利集团有限公司，
类型：发明
国别省市：
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