【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种交叉垂直发射极结构晶体硅太阳能电池的制备方法,其特征是含以下步骤:(1)选取硅基体,预处理后,采用激光或采用化学湿法刻蚀方法在硅基体的前表面进行开槽,形成交叉垂直结构的开槽,所述交叉垂直结构的开槽由多个相互垂直的纵向槽和横向槽组成;(2)对开槽后的硅基体采用化学溶剂清洗损伤后,在硅基体前表面和交叉垂直结构的开槽结构内进行制绒,形成减反射结构;(3)进行磷或硼扩散,在前表面形成发射极结构,并去除硅基体边缘四周和背面的扩散层;(4)在前表面沉积钝化减反射膜;(5)丝网印刷背面导电电极和背面电场,在前表面的横向槽或纵向槽上丝网印刷导电浆料制备细栅线,并在与所述细栅线相垂直的开槽上印刷主栅线,形成前表面接触电极,烧结形成金属电极与硅基体之间的欧姆接触,制成交叉垂直发射极结构的晶体硅太阳能电池。
【技术特征摘要】
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