【技术实现步骤摘要】
扩散三氯氧磷存储容器
本技术涉及一种扩散三氯氧磷存储容器,属于太阳能电池片制造
技术背景在太阳能电池制造过程中,需要用扩散工艺制作PN结。目前常用的太阳能电池扩散工艺为三氯氧磷(POCl3)液态源扩散,将氮气通入三氯氧磷的存储容器,氮气携带三氯氧磷到扩散炉管内进行扩散。扩散三氯氧磷存储容器包括容器体,容器体的顶部设置有左右布置的出气管以及进气管,进气管延伸至容器体的底部,传统容器体的底部内表面为水平面,当三氯氧磷存储容器内的三氯氧磷较少时,底部的三氯氧磷无法得到充分的利用,导致扩散效果较差。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述不足,提供一种三氯氧磷可以得到充分的利用, 保证扩散效果的扩散三氯氧磷存储容器。本技术的目的是这样实现的一种扩散三氯氧磷存储容器,它包括容器体,所述容器体的顶部设置有左右布置的出气管以及进气管,所述容器体的底部内表面为向右下方倾斜的斜面。与现有技术相比,本技术的有益效果是本技术容器体的底部内表面为向右下方倾斜的斜面,进气管延伸至斜面底部,使得底部的三氯氧磷可以得到充分的利用,保证扩散效果。附图说明图I为本技术扩散三氯氧磷存 ...
【技术保护点】
一种扩散三氯氧磷存储容器,它包括容器体(1),所述容器体(1)的顶部设置有左右布置的出气管(2)以及进气管(3),其特征在于所述容器体(1)的底部内表面为向右下方倾斜的斜面(4)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:邱军辉,王世贤,黄勤健,南晨,龚丽坤,
申请(专利权)人:江阴鑫辉太阳能有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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