【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种高纯度三氯氧磷供料钢瓶，包括钢瓶本体，设于所述钢瓶本体顶部、带有氮气进气阀的氮气进气管，设于所述钢瓶本体顶部、带有三氯氧磷供料阀的三氯氧磷供料管以及两端分别连通所述氮气进气管和三氯氧磷供料管顶部且带有第一阀门的横向管道，所述三氯氧磷供料管的底端插入所述钢瓶本体的底部，所述横向管道位于所述氮气进气阀和三氯氧磷供料阀的上方，其特征在于，所述氮气进气阀和三氯氧磷供料阀为三向阀门，所述高纯度三氯氧磷供料钢瓶还包括两端分别连通所述氮气进气阀和三氯氧磷供料阀且带有第二阀门的连通管道。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈子勇，李雪峰，管玉成，黄震寰，赵云翔，李鑫，许晓翠，李方圆，倪智平，
申请(专利权)人：上海鸿辉光通科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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