【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种晶圆允收测试系统,包括晶圆允收测试机台,其特征在于,所述系统还包括静电释放模块;所述静电释放模块位于所述晶圆允收测试机台上,以对所述晶圆允收测试机台进行静电释放。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:沈茜,周波,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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