【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于微型器件的封装模具，所述微型器件具有一连通其前、后两端且允许溶剂流过的内部流道，所述封装模具包括相互盖合的衬底及盖板，其特征在于，所述盖板包括设置在其顶部的流入口，以及设置在其侧面的流出口；所述盖板与所述衬底相互盖合后，形成一与所述微型器件大小尺寸紧密配合的且用于收容所述微型器件的密封腔，在所述密封腔相对于所述微型器件前后端的两端设置有流入腔及流出腔，通过所述内部流道连通所述流入腔及所述流出腔；所述流入腔通过一流入通道与所述流入口连通；所述流出腔通过一流出通道与所述流出口连通；从而，所述溶剂自所述流入口流入，经流入通道、流入腔、内部流道、流出腔、流出通道，从所述流出口流出。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：谢元华，姜彬，
申请(专利权)人：昌微系统科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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