机电干涉测量调制器器件制造技术

本公开提供了用于机电系统的系统、方法和装置。在一个方面，机电干涉测量调制器系统包括基板和多个干涉测量调制器（IMOD）。至少两个不同的IMOD类型对应于不同的所反射颜色。每个IMOD具有光学叠层、吸收器层、可移动反射层（其中可移动反射层至少具有打开和塌陷状态）、以及在打开状态中在可移动反射层与光学叠层之间限定的空气间隙。光学叠层藉由不同的透明层厚度和/或材料来为不同IMOD类型中的每个IMOD类型定义不同的光程长度，而空气间隙在打开状态中具有相同的大小。IMOD在关闭状态中反射不同的颜色并且在打开状态中反射共同的外观。两个吸收器的使用辅助定义打开状态中的共同外观并且还可提高颜色饱和度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：I·比塔，S·帕特尔，
申请(专利权)人：高通MEMS科技公司，
类型：
国别省市：