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机电干涉测量调制器器件制造技术
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文档序号:9226231
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本公开提供了用于机电系统的系统、方法和装置。在一个方面,机电干涉测量调制器系统包括基板和多个干涉测量调制器(IMOD)。至少两个不同的IMOD类型对应于不同的所反射颜色。每个IMOD具有光学叠层、吸收器层、可移动反射层(其中可移动反射层至少...
该专利属于高通MEMS科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过高通MEMS科技公司授权不得商用。
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