扫描显微镜和用于物体的光显微成像的方法技术

技术编号：9226230 阅读：123 留言：0更新日期：2013-10-04 20:00

本发明专利技术涉及一种扫描显微镜（10），包括：用于发射照明光束（24）的照明单元（12、15）；用于在待成像的物体（40）中生成细长的照明焦点（62）的物镜（34）；以及用于通过改变照明光束（24）入射在物镜（34）的入射光瞳（36）上的入射方向而在待照明的物体（40）的目标区域上移动照明焦点（62）的扫描装置（20、22、26、28、30、38、58）。扫描装置（20、22、26、28、30、38、58）将照明光束（24）引导到与光瞳中心偏置的入射光瞳（36）的子区域上以使照明焦点（62）相对于物镜（34）的光轴（O）倾斜，以及扫描装置在所述子区域内改变照明光束（24）的入射方向以在待照明的目标区域上移动照明焦点（62）。