一种单晶炉制造技术

本发明专利技术公开了一种单晶炉，包括炉体；加热器，设于所述炉体内的下周壁；坩埚托杆，通过设置在所述炉体底部中央的开口贯穿所述炉体的底部，其上端固定有支撑坩埚的坩埚托盘，且能够带动所述坩埚托盘在竖直方向上移动；还包括隔热部件，套设于所述坩埚托杆；单晶炉处于加热工艺段时，所述隔热部件与所述炉体底部的压片抵接；单晶炉处于等径工艺段时，所述隔热部件位于所述坩埚托杆和所述加热器的下部之间。当单晶炉处于等径工艺段时，由于隔热部件的设置，有效地防止了加热器下部产生的热量被坩埚托杆吸收，减缓了热场下部温度的下降，从而减少了热量的损失，降低了单晶炉运行的加热器功率，节约了电能。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种单晶炉，包括：炉体；加热器，设于所述炉体内的下周壁；坩埚托杆，贯穿所述炉体的底部，其上端固定有支撑坩埚的坩埚托盘，且能够带动所述坩埚托盘在竖直方向上移动；其特征在于，还包括：隔热部件，套设于所述坩埚托杆；单晶炉处于加热工艺段时，所述隔热部件与所述炉体底部的压片抵接；单晶炉处于等径工艺段时，所述隔热部件位于所述坩埚托杆和所述加热器的下部之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：白剑铭，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：发明
国别省市：