本实用新型专利技术涉及一种单晶炉用炉底压片,该压片的本体上具有安装孔,在本体的外圆周上设有开口,且在开口上套有与开口形状相吻合的碳毡护套。采用本实用新型专利技术,可以通过碳毡护套进行排气,有利于提高产品品质。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)
【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种单晶炉用炉底压片,包括本体,在本体上具有安装孔,特征在于在本体的外圆周上设有开口,且在开口上套有与开口形状相吻合的碳毡护套。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:方金永,王闽,王良文,毛水祥,周敏,
申请(专利权)人:浙江虹宇电子科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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