一种单晶炉制造技术

技术编号:9207820 阅读:149 留言:0更新日期:2013-09-26 19:19
本实用新型专利技术涉及一种单晶炉,该单晶炉的三瓣坩埚位于加热器内;保温筒位于加热器外且架在炉底护盘上;导流筒位于三瓣坩埚之上且在保温筒内;下保温碳毡铺设在炉底护盘上,其特征在于在上保温盖与导流筒之间设有增高环,在增高环的外围以及上保温盖与导流筒之间铺设有若干层的上保温碳毡。采用本实用新型专利技术,由于增设了增高环,可以在上保温盖下增加保温碳毡,提高了单晶炉的上部保温效果,可降低加热器的功耗。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种单晶炉,包括保温筒、上保温盖、导流筒、加热器、三瓣坩埚、下保温碳毡和炉底护盘;三瓣坩埚位于加热器内;保温筒位于加热器外且架在炉底护盘上;导流筒位于三瓣坩埚之上且在保温筒内;下保温碳毡铺设在炉底护盘上,其特征在于在上保温盖与导流筒之间设有增高环,在增高环的外围以及上保温盖与导流筒之间铺设有若干层的上保温碳毡。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:方金永王闽王良文毛水祥周敏
申请(专利权)人:浙江虹宇电子科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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