【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种单晶炉,包括保温筒、上保温盖、导流筒、加热器、三瓣坩埚、下保温碳毡和炉底护盘;三瓣坩埚位于加热器内;保温筒位于加热器外且架在炉底护盘上;导流筒位于三瓣坩埚之上且在保温筒内;下保温碳毡铺设在炉底护盘上,其特征在于在上保温盖与导流筒之间设有增高环,在增高环的外围以及上保温盖与导流筒之间铺设有若干层的上保温碳毡。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:方金永,王闽,王良文,毛水祥,周敏,
申请(专利权)人:浙江虹宇电子科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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