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一种单晶炉制造技术
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文档序号:9220836
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本发明公开了一种单晶炉,包括炉体;加热器,设于所述炉体内的下周壁;坩埚托杆,通过设置在所述炉体底部中央的开口贯穿所述炉体的底部,其上端固定有支撑坩埚的坩埚托盘,且能够带动所述坩埚托盘在竖直方向上移动;还包括隔热部件,套设于所述坩埚托杆;单晶...
该专利属于英利能源(中国)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英利能源(中国)有限公司授权不得商用。
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