【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电调制MEMS红外光源，其特征在于，包含：衬底、支撑薄膜层、发热电极；其中，所述支撑薄膜层覆盖于所述衬底之上，所述衬底与所述支撑薄膜层的连接采用四边固支结构；所述发热电极固定在所述支撑薄膜层之上，位于所述衬底中间被挖空的部分。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：纪新明，黄宜平，吴东平，
申请(专利权)人：南京曼莫斯电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。