【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微机电系统传感器，包括衬底，其特征在于：所述衬底包括底壁、自所述底壁向上延伸形成的侧壁、由所述底壁和侧壁围设形成的收容腔、收容在所述收容腔内且与所述底壁和侧壁形成空隙的感应本体、以及自所述底壁和侧壁其中一个或多个上朝所述感应本体延伸以支撑所述感应本体的支撑部，所述感应本体包括形成在所述感应本体内呈真空封闭状的真空腔、位于所述真空腔上方的感应薄膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李刚，胡维，肖滨，
申请(专利权)人：苏州敏芯微电子技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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