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本实用新型涉及一种微机电系统传感器，包括衬底，所述衬底包括底壁、自所述底壁向上延伸形成的侧壁、由所述底壁和侧壁围设形成的收容腔、收容在所述收容腔内且与所述底壁和侧壁形成空隙的感应本体、以及自所述底壁和侧壁其中一个或多个上朝所述感应本体延伸以...
该专利属于苏州敏芯微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州敏芯微电子技术有限公司授权不得商用。

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