微机械传感器装置和相应制造方法以及相应的应用制造方法及图纸

本发明专利技术提出了一种微机械传感器装置和一种相应的制造方法以及一种相应的应用。所述微机械传感器装置包括：衬底（S1；S1；S1’），其具有前侧（V；V1；V1’）和背侧（R；R1；R1’）；其中在前侧（V；V1；V1’）上集成第一微机械传感器装置（M1），而在背侧（R；R1；R1’）上集成第二微机械传感器装置（M2）。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微机械传感器装置，具有：衬底（S1；S1；S1’），其具有前侧（V；V1；V1’）和背侧（R；R1；R1’）；其中在前侧（V；V1；V1’）上集成第一微机械传感器装置（M1；M11；M11’），而在背侧（R；R1；R1’）上集成第二微机械传感器装置（M2；M12；M12’）。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：G比肖平克，C舍林，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：