【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种具有可动栅极的微机械传感器装置，其具有：场效应晶体管，该场效应晶体管带有漏极区域（3）、源极区域（4）、具有第一掺杂类型的位于其间的沟道区域（7）和可动栅极（1），该可动栅极通过空隙（Z）与沟道区域（7）分离；其中漏极区域（3）、源极区域（4）和沟道区域（7）设置在衬底（2）中；以及其中至少在沟道区域（7）的纵向侧（S1，S2）上在衬底（2）中设置防护区域（8；8a，8b），其具有第二掺杂类型，该第二掺杂类型与第一掺杂类型相同并且具有比第一掺杂类型高的掺杂浓度。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：O雅科夫莱夫，A布曼，A费伊，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：
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