本发明涉及红外技术领域，公开了一种电调制MEMS红外光源及其制备方法。本发明中，选用四边固支结构，利用固定在支撑薄膜上的发热电极产生对外的红外辐射能量，使得电调制MEMS红外光源的结构稳固，工作性能稳定，占空比高，且制作工艺简单，成本低...