【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种平面磁控ECR?PECVD等离子源装置，其特征在于，包括真空腔室、微波谐振腔、微波天线、微波波导以及微波发生器，其中，所述微波谐振腔设置在真空腔室的内部;所述微波天线装配在微波谐振腔内，并轴向贯穿整个微波谐振腔;所述真空腔室外侧的靠近两端部处分别设有微波发生器，所述两个微波发生器分别通过微波波导与微波天线的两端相连接;所述真空腔室与微波谐振腔之间设有平面磁控板，待镀膜样品设置在微波谐振腔和平面磁控板之间;所述微波谐振腔内还设有若干气体喷射管。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：夏世伟，吴长川，
申请(专利权)人：上海君威新能源装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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