本实用新型公开了一种真空电气消弧连接装置及石英灯加热器，包括真空腔室、绝缘空腔体、引入电极以及电气元件，绝缘空腔体装配在真空腔室内部;由真空腔室外部通入的引入电极的导电部分设置在绝缘空腔体内;所述电气元件设置在真空腔室内，并通过电气元件...

本实用新型公开了一种平面磁控ECR-PECVD等离子源装置，包括真空腔室、微波谐振腔、微波天线、微波波导以及微波发生器，其中，所述微波谐振腔设置在真空腔室的内部，所述微波天线装配在微波谐振腔内，并轴向贯穿微波谐振腔内，所述真空腔室外侧的...

本实用新型公开了一种新型电极石英灯及其引出电极，包括灯管、安装在灯管内部的灯丝和封接电极、以及安装在灯管外部，并与封接电极相连的引出电极，所述引出电极为Z形金属薄片，具有弹性，所述引出电极与封接电极之间通过焊接连接，同时实现电气连接和机...

本发明公开了一种平面磁控ECR-PECVD等离子源装置，包括真空腔室、微波谐振腔、微波天线、微波波导以及微波发生器，其中，所述微波谐振腔设置在真空腔室的内部，所述微波天线装配在微波谐振腔内，并轴向贯穿微波谐振腔内，所述真空腔室外侧的两端...