碳纳米管浆料，其制备方法以及采用该碳纳米管浆料制备阴极发射体的方法技术

本发明专利技术涉及一种感光型碳纳米管浆料，其由第一混合物和第二混合物组成，其中，第一混合物包括碳纳米管，导电颗粒，以及第一有机载体，第二混合物包括光聚合单体，光引发剂和第二有机载体，第一混合物的质量百分比为50%~80%，第二混合物的质量百分比为20%~50%。本发明专利技术还涉及一种制备该感光型碳纳米管浆料的方法以及一种采用该感光型碳纳米管浆料制备阴极发射体的方法，其包括以下步骤：将浆料涂布于玻璃基板上并干燥；使用具有曝光图案的负像掩膜进行曝光；使用喷涂法或浸渍法进行显影；在真空或惰性气体气氛下烧结以及膜层的后续处理。本发明专利技术的感光型碳纳米管浆料，可以通过光刻工艺形成尺寸为几十微米的图形化碳纳米管阴极发射体。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种感光型碳纳米管浆料，由第一混合物和第二混合物组成，其特征在于，所述第一混合物包括碳纳米管，导电颗粒，以及第一有机载体，所述第二混合物包括光聚合单体，光引发剂和第二有机载体，所述第一混合物的质量百分比为50%~80%，所述第二混合物的质量百分比为20%~50%。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郝海燕，柳鹏，张春海，范守善，
申请(专利权)人：清华大学，鸿富锦精密工业深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：