【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种非球面法向误差检测装置,其特征在于设有底座、Y向导轨、Y向滑块、Y向直线电机、工作台、立柱、横梁、X向导轨、X向滑块、X向直线电机、X向移动块、第一配重块、Z向导轨、Z向滑块、Z向直线电机、Z向移动板、支架、第二配重块、二自由度球面马达固定架、二自由度球面马达、高精度测头和控制电路;Y向导轨和Y向直线电机定子固于底座上,Y向直线电机动子固于工作台上,工作台与Y向直线电机连接,并通过Y向滑块与Y向导轨滑动配合,立柱固于底座上,横梁固于立柱上,X向导轨固于横梁两侧,X向直线电机定子固于横梁上,X向滑块固于X向移动块上,X向移动块固定X向直线电机动子,X向移动块后部固定第一配重块,X向移动块前部固定Z向导轨和Z向直线电机定子,Z向移动板上固定Z向滑块,Z向移动板与Z向直线电机动子连接;支架固于Z向移动板上,支架前部固定第二配重块,支架后部固定二自由度球面马达固定架,二自由度球面马达定子固于二自由度球面马达固定架上,二自由度球面马达转子与二自由度球面马达定子配合,高精度测头固于二自由度球面马达转子的伸出轴上,控制电路包括Y向直线电机驱动器、X向直线电机驱动器、Z向直线电机驱动器、二自由度球 ...
【技术特征摘要】
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