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基于智能数控平台的子孔径拼接激光干涉在线测量方法及系统技术方案

技术编号:9141220 阅读:136 留言:0更新日期:2013-09-12 03:10
本发明专利技术属于现代光学测量技术领域,具体为一种基于智能数控平台的子孔径拼接激光干涉在线测量系统及方法。该系统由工业机器人及其控制模块、驱动模块,瞬态干涉仪,拼接与数据分析系统,人机交互界面,工作台构成。原本工业机器人是通过安装于机器人腕部的抛光组件实现对光学元件的抛光。本发明专利技术运用瞬态干涉仪通过法兰盘按照和抛光头相同的基准要求安装在工业机器人手腕上,实现对工件表面各子孔径面形进行精密测量,并通过拼接与数据分析系统实现整个工件表面的面形测量。本发明专利技术造价低廉,通用性与便利性好,可实现对多种面形的在线测量。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于智能数控平台的子孔径拼接激光干涉在线测量系统,其特征在于:该系统由工业机器人、驱动模块、控制模块、瞬态干涉仪、拼接与数据分析系统、人机交互界面和工作台构成;其中:所述工业机器人具有六个轴;所述瞬态干涉仪通过法兰盘安装在工业机器人的“腕部”;所述拼接与数据分析系统与所述瞬态干涉仪相连接;所述控制模块和驱动模块控制并驱动工业机器人和工作台的空间移动与空间定位;所述人机交互界面通过控制模块控制瞬态干涉仪的工作位置与工作状态;所述拼接与数据分析系统根据工件的摆放位置和待测曲面方程,计算得到适合该表面测量的所有的子孔径尺寸和位置分布情况;所述工业机器人的驱动与控制软件编写控制瞬态干涉仪移动的路径程序,从而控制瞬态干涉仪按照设定的路径程序对待测曲面逐个进行子孔径的测量;子孔径的面形测量结果通过瞬态干涉仪中的探测器阵列分别进行采集并传输给拼接与数据分析系统。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王伟徐敏
申请(专利权)人:复旦大学
类型:发明
国别省市:

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