晶片传输机械手装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶片传输机械手装置，该装置包括机械手臂、直线导轨、驱动盘、机械手支架、回转盘、张紧轮、钢带，其中机械手臂安装在回转盘上，回转盘位于机械手支架上，机械手支架下安装直线导轨；钢带绕制在回转盘、张紧轮、驱动盘上，驱动盘通过钢带、回转盘、张紧轮控制机械手臂旋转。本实用新型专利技术结构简单有效，使用寿命长；采用部件少，可靠性高、易维护。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种机械手装置，尤其涉及一种晶片传输机械手装置。
技术介绍
离子注入机是半导体工艺中离子掺杂的典型设备，离子源产生需要掺杂的离子束，离子束再经过质量分析、校正、加速，传输到处于靶室终端工艺腔体的晶片表面。晶片传输机械手是目前半导体工艺设备上常用的关键部件，其作用是在真空环境中实现晶片传输；此外，为满足现代半导体硅片的工艺要求，需要晶片传输装置有较高的效率和可靠性。如果不能实现有效的晶片传输，晶片就会脱离机械手，造成碎片和停机损失，这将会直接影响到整个设备晶片处理的可靠性指标。
技术实现思路
针对上述情况，本技术提供一种新型的晶片传输机械手装置，可以实现高速可靠的晶片传输。本技术通过以下技术方案实现晶片传输机械手装置包括机械手臂、直线导轨、驱动盘、机械手支架、回转盘、张紧轮、钢带，其中机械手臂安装在回转盘上，回转盘位于机械手支架上，机械手支架下安装直线导轨；钢带绕制在回转盘、张紧轮、驱动盘上，驱动盘通过钢带、回转盘、张紧轮控制机械手臂旋转。本技术的有益效果是1.结构简单有效，使用寿命长。2.该装置采用部件少，可靠性高、易维护。附图说明图1是本技术的示意图。图2是本技术的钢带绕向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶片传输机械手装置，其特征在于：包括机械手臂、直线导轨、驱动盘、机械手支架、回转盘、张紧轮、钢带，其中机械手臂安装在回转盘上，回转盘位于机械手支架上，机械手支架下安装直线导轨；钢带绕制在回转盘、张紧轮、驱动盘上，驱动盘通过钢带、回转盘、张紧轮控制机械手臂旋转。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：许波涛，郭健辉，易文杰，伍三忠，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]