下载晶片传输机械手装置的技术资料

文档序号:912708

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本实用新型公开了一种晶片传输机械手装置,该装置包括机械手臂、直线导轨、驱动盘、机械手支架、回转盘、张紧轮、钢带,其中机械手臂安装在回转盘上,回转盘位于机械手支架上,机械手支架下安装直线导轨;钢带绕制在回转盘、张紧轮、驱动盘上,驱动盘通过钢带...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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