一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料制造技术

一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料，由低粘度、多官能度的液体预聚物、光引发剂、助剂与稀释剂组成。低粘度、多官能度液体预聚物由（含硅）巯基单体和（含硅）烯烃单体组成。（含硅）巯基单体和（含硅）烯烃单体均含有两个或两个以上的可固化交联官能团，可固化交联官能团为巯基或碳碳不饱和双键。液体预聚物占材料总质量的5%-90%，稀释剂质量占材料总质量的95%-10%，光引发剂质量为液体预聚物质量的1%-5%，助剂质量为液体预聚物质量的0.01%-10%。本发明专利技术具有低粘度、快速固化、可在空气中完全固化、低收缩率的特点，基于旋转涂膜工艺，可作为紫外光固化纳米压印胶使用，实现大面积紫外光固化纳米压印，经济高效地生产出关键尺寸小于100纳米的图案。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种巯基?烯紫外光固化纳米压印材料，其特征在于：由低粘度、多官能度的液体预聚物、稀释剂、光引发剂与助剂组成;所述低粘度、多官能度的液体预聚物由含硅巯基单体和不含硅烯烃单体、不含硅巯基单体和含硅烯烃单体、或含硅巯基单体和含硅烯烃单体组成；所述含硅巯基单体质量占液体预聚物质量10%?90%，含硅烯烃单体组成占液体预聚物质量90%?10%；所述单体均含有两个或两个以上的可固化交联官能团，可固化交联官能团为巯基或碳碳不饱和双键；所述巯基包括巯基烷烃、巯基芳香烃、巯基乙酸酯以及巯基丙酸酯；所述碳碳不饱和双键包括乙烯基、乙烯基醚、丙烯基醚、烯丙基醚、丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、苯乙烯、N?乙烯基酰胺、共轭二烯、丙烯腈、烯丙基三聚异氰酸酯、烯丙基三嗪、不饱和酯、马来酰亚胺；所述液体预聚物占预聚物与稀释剂总质量的5%?90%；所述稀释剂是非反应性的溶剂或反应性单体；所述非反应性溶剂包括戊烷、己烷、庚烷、辛烷、氯苯、甲苯、二甲苯、丙酮、甲乙酮、甲基异丁酮、甲酸酯、乙酸乙酯、二甲基甲酰胺以及它们的混合物；所述反应性单体包括丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基乙烯基醚、乙基乙烯基醚以及他们的混合物；稀释剂质量占材料总质量的95%?10%；所述光引发剂选自安息香乙醚、安息香双甲醚、安息香丁醚、联苯甲酰、二苯甲酮的一种或几种；所述光引发剂质量为液体预聚物 质量的0.1%?5%；所述助剂选自有机氟硅烷流平剂、含氟表面活性剂、有机醇、聚醚烷基共改性硅油消泡剂的一种或几种，助剂质量为液体预聚物质量的0.01%?10%。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李志炜，张满，杨勇，胡松，邱传凯，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：