一种三明治结构线栅宽带偏振器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种三明治结构线栅宽带偏振器及其制备方法。本发明专利技术的偏振器，由基板上的Al-SiO2-Al三明治结构纳米线栅构成，基板为在通讯波段透明的光学材料；Al-SiO2-Al三明治结构纳米线栅的结构参数为：线栅周期350-400纳米，线栅占空比60%-50%，线栅总厚度300-400纳米，第一层金属铝的厚度为80-170nm，SiO2的厚度为50-120nm，第二层金属铝的厚度为80-210nm。本发明专利技术方法步骤为：清洗基板、基板表面旋涂SU8胶、旋涂含Si的紫外压印胶、在含Si的紫外压印胶表面形成纳米线栅结构、刻蚀残余层、在SU8胶上刻出纳米线栅结构、沉积薄膜（Al、SiO2、Al）、超声举离，形成Al-SiO2-Al三明治结构纳米线栅。本发明专利技术宽带偏振器在1300-2000nm波段范围内不仅具有很高的TM波透射率，而且具有很高的消光比，且工艺简单、加工误差容忍度好。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学系统中的亚波长光学器件，特别涉及。
技术介绍
偏振器是一种重要的光学器件，广泛应用于自由空间光开关网络、光纤光网络、读写磁光数据存储系统、基于偏振的成像系统等。传统的偏振器尺寸大，这大大限制了其应用。近年来，纳米线栅偏振器因其小尺寸、高消光比、高透射率等特性引起了研究人员的广泛关注。到目前为止，在无线电波、微波和远红外领域，纳米线栅偏振器已经得到了许多应用。随着微加工技术的不断发展，制备出更小线条的偏振器，并将其应用到近红外、可见、甚至紫外光波段也已经成为可能。然而，对于很多光学和光电子学应用领域来说，无论对应于哪一波段，人们都希望得到一种线栅偏振器，在具有很高的消光比的同时，还具有很高的TM波透射率。2005年,美国NanoOpto公司在玻璃基板上成功制备200nm周期的金属线栅偏振器，该偏振器的工作波长在1520-1570nm的通讯波段，TM波透射率达到97%且消光比超过40dB (参见 High-performance nanowire-grid polarizers, Opt.Lett., vol.30, pp.195,2005)。然而，该偏振器需要很高的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三明治结构线栅宽带偏振器，由基板上的Al?SiO2?Al三明治结构纳米线栅构成，其特征在于：所述基板为在通讯波段透明的光学材料；所述Al?SiO2?Al三明治结构纳米线栅的结构参数为：线栅周期350?400纳米，线栅占空比60%?50%，线栅总厚度300?400纳米。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：卢明辉，宋宝生，林亮，徐叶龙，葛海雄，陈延峰，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：发明
国别省市：