各向异性和各向同性混合薄膜反射式位相延迟片制造技术

技术编号:8906414 阅读:204 留言:0更新日期:2013-07-11 03:59
一种基于各向异性和各向同性混合薄膜反射式位相延迟片,由基底、各向同性的高低折射率膜层周期性交替组成的高反射膜层以及各向异性的位相延迟层一体构成,各向同性的高反射膜可以实现入射光高反射,各向异性薄膜层为反射位相延迟层,本发明专利技术在正入射条件下,可以实现两种入射偏振光波的偏振分离,获得特定的反射位相差。反射位相差通过调节各向异性薄膜层的倾斜沉积角度和厚度来实现,具有很高的设计灵活性。本发明专利技术中各向异性薄膜层的引入为反射式位相延迟片的设计提供了新方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及位相片,特别是一种各向异性和各向同性混合薄膜反射式位相延迟片
技术介绍
在激光在光学元件表面传输中,根据由入射激光与光学元件界面法线构成的入射面,可以将入射光波可以分为水平偏振光及垂直偏振光,即TE和TM两种偏振态光波,在许多应用中需要使用位相延迟片对入射光波的偏振态进行调制,实现各类偏振态之间的相互转化或偏振面的旋转。位相延迟片可以实现对于入射两种偏振态光波固定的位相差,如常用的四分之一波片,可以在特定波长获得入射两种偏振态光波90 °的位相差,将线偏振光转化为圆偏振光,或将圆偏振光转化为线偏振光,二分之一波片可以在特定波长获得入射两种偏振态光波180°的位相差,改变入射线偏振光的偏振方向。传统的位相延迟片或者使用各类各向异性块体材料,如非环状烯烃单体-环状烯烃单体-芳香族乙烯基单体构成的高分子聚合物(参见CN138 5 718A )、液晶(参见 CN1078049A, CN102707362A)、双折射晶体材料(参见 CN102383808A, CN102508328A,CN102508364A)等,但以上设计基于体材料的本征各向异性,且只能作为透射类元件。对于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种各向异性和各向同性混合薄膜反射式位相延迟片,其特征在于是由基底上依次镀制的各向同性的高反射膜(4)和各向异性薄膜层(3)一体构成,所述的高反射膜(4)的结构为(HL)xH,其中H为高折射率层(1),L为低折射率膜层(2),x为高折射率层(1)和低折射率膜层(2)重复的次数,所述的高反射膜(4)的最外层为高折射率层(1),每一膜层的光学厚度为四分之一使用波长λ,所述的各向异性薄膜层(3)的光学厚度及该膜层制备时的倾斜沉积角度决定反射式位相延迟片的反射位相延迟量。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:齐红基侯永强朱美萍易葵
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
类型:发明
国别省市:

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