【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种新型蚀刻片连续曝光机,其特征在于,包括:上台框与下台框,所述上台框设于所述下台框上方,所述上台框与所述下台框之间的空间形成曝光区域,所述上台框与下台框均为矩形,所述下台框下侧面顶角处均设有一小气缸,所述上框台下侧面顶角处均设有一大气缸,所述上台框与下台框两侧下方均设有一支撑板,所述小气缸与所述大气缸均连接于所述支撑板顶面,每一所述支撑板的长度长于所述上台框与所述下台框的长度,两所述支撑板之间设有一滚轴,且所述滚轴位于曝光区域的一侧,所述滚轴与所述曝光区域之间设有固定传送滑轮。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:何公明,
申请(专利权)人:宁波东盛集成电路元件有限公司,
类型:发明
国别省市:
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