单层结构六自由度微动工作台及其并行控制方法技术

单层结构六自由度微动工作台及其并行控制方式，特征是采用单层结构，由压电驱动杆以八杆对称的方式联接，压电驱动杆Ａ－ａ、Ｂ－ｂ、Ｃ－ｃ、Ｄ－ｄ、Ｅ－ｅ、Ｆ－ｆ、Ｇ－ｇ、Ｈ－ｈ的外端通过柔性铰链Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈ与固定台相连，内端通过柔性铰链ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｈ与微动台相连。通过并行控制八个压电驱动杆的长度变化来实现单层结构六自由度微动工作台多自由度的运动。本发明专利技术所采用的并行控制方法可以控制工作台的运动达到纳米级的精度，实现纳米级精密测量和精密定位。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于纳米级精密测量和精密定位的单层结构六自由度微动工作台及其控制方式。
技术介绍
目前，微技术已成为极有生命力的新兴高科技领域，微型机电器件及系统已从实验室走向市场，形成新的产业。以微型器件为测量对象的纳米测量技术自二十世纪末起也已受到学术界的普遍重视，具有纳米级分辨率的测量方法研究日趋深入和成熟，并陆续开发研制出一些测量器件及仪器。已经研究出的多自由度工作台一般采用多层结构或多杆结构。在控制方式上，多层结构工作台各自由度的运动多为相互独立，运动的自由度越多，工作台的层数越多，因而造成结构的复杂而难以微型化，分步调整所需要的时间也较长。因此这种结构形式的微动工作台为一个自由度或两个自由度，用于微测量仪器或微加工机械。多杆结构工作台各自由度的运动是相关的，调整也相对灵活，但其控制模型较复杂，结构难以实现微型化，精度往往也满足不了纳米测量的要求。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是避免上述现有技术中所存在的不足之处，提供一种单层结构六自由度微动工作台及其并行控制方式，用于实现精密测量和精密定位。本专利技术解决技术问题所采用的技术方案是本专利技术六自由度微动工作台本文档来自技高网...

【技术保护点】
单层结构六自由度微动工作台，其特征是采用单层结构，由压电驱动杆以八杆对称的方式联接，压电驱动杆Ａ－ａ、Ｂ－ｂ、Ｃ－ｃ、Ｄ－ｄ、Ｅ－ｅ、Ｆ－ｆ、Ｇ－ｇ、Ｈ－ｈ的外端通过柔性铰链Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈ与固定台相连，内端通过柔性铰链ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｈ与微动台相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：余晓芬，俞建卫，王永红，黄其圣，魏玉凤，邓辉，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：发明
国别省市：34[中国|安徽]