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单层结构六自由度微动工作台及其并行控制方式，特征是采用单层结构，由压电驱动杆以八杆对称的方式联接，压电驱动杆Ａ－ａ、Ｂ－ｂ、Ｃ－ｃ、Ｄ－ｄ、Ｅ－ｅ、Ｆ－ｆ、Ｇ－ｇ、Ｈ－ｈ的外端通过柔性铰链Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈ与固定台相连，内端通过...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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