导电薄膜的消影方法技术

技术编号:9061314 阅读:192 留言:0更新日期:2013-08-22 00:30
一种导电薄膜的消影方法,所述导电薄膜包括基板、位于基板上的电极区及位于基板上的非电极区,所述电极区形成所述导电薄膜的图案,所述电极区包括基质及纳米金属。在形成所述导电薄膜的过程中,所述消影方法包括如下步骤:(a).利用光刻胶保护膜来保护所述电极区;(b).将填充液涂布于非电极区后,进行固化;(c).用腐蚀液去除所述光刻胶保护膜,使所述非电极区和所述电极区的折射率相同或相近、雾度相差≤3%、透过率相差≤1%。本发明专利技术的有益效果是:使非电极区和电极区的折射率、雾度、透过率的差异降低,从而使电极区和非电极区具有相似的光学性质,最终使电极区边缘区域不易被人眼分辨。?

【技术实现步骤摘要】
导电薄膜的消影方法
本专利技术涉及一种导电薄膜的消影方法。
技术介绍
目前,透明导电薄膜主要有金属氧化物薄膜、纳米金属薄膜、导电聚合物薄膜、碳纳米管或者石墨烯薄膜。其中铟锡氧化物(ITO)薄膜最为广泛应用,但铟资源面临紧缺的局面,而且ITO导电薄膜的真空溅镀的工艺较为复杂,工艺温度也较高。随着技术的发展,可以采用涂布工艺的纳米金属薄膜,例如纳米银透明导电薄膜成为ITO导电薄膜有力的替代材料。纳米银线透明导电薄膜包括银线和聚合物基质,银线在基质中散布或嵌入,形成导电的网格结构。采用涂布工艺的银线金属薄膜是将银线和聚合物混溶于溶剂中,然后以旋涂或者其他方式涂布于基材上。图案化导电薄膜是指将基材上的透明导电膜层进行线路化,如黄光蚀刻、激光刻蚀、丝印等,形成一系列的驱动元件,同时具有透明和导电性。图案化透明导电薄膜作为驱动电路广泛应用于各种器件中,如显示器、触摸屏以及薄膜光电池中的透明电极,也可以用作防静电层及电磁波屏蔽层。图案化导电薄膜分为电极区和非电极区,由于纳米金属薄膜的电极区和非电极区同时在透过率、雾度、折射率存在着光学差异,电极区的边缘易被人眼看到,当此薄膜应用于触摸屏及其他器件时本文档来自技高网...
导电薄膜的消影方法

【技术保护点】
一种导电薄膜的消影方法,所述导电薄膜包括基板、位于基板上的电极区及位于基板上的非电极区,所述电极区形成所述导电薄膜的图案,所述电极区包括基质及纳米金属,其特征在于,在形成所述导电薄膜的过程中,所述消影方法包括如下步骤:(a).?利用光刻胶保护膜来保护所述电极区;(b).?将填充液涂布于非电极区后,进行固化;(c).?用腐蚀液去除所述光刻胶保护膜,使所述非电极区和所述电极区的折射率相同或相近、雾度相差≤3%、透过率相差≤1%。

【技术特征摘要】
1.一种导电薄膜的消影方法,所述导电薄膜包括基板、位于基板上的电极区及位于基板上的非电极区,所述电极区形成所述导电薄膜的图案,所述电极区包括基质及纳米金属,其特征在于,在形成所述导电薄膜的过程中,所述消影方法包括如下步骤:(a).利用光刻胶保护膜来保护所述电极区;(b).将填充液涂布于非电极区后,进行固化;所述填充液包括溶剂、基质物及纳米颗粒;所述溶剂为水或乙醇;所述基质物为聚甲基丙烯酸酯、聚丙烯酸酯和聚丙烯腈、聚乙烯醇、聚酯、聚氯乙烯、羟丙基甲基纤维素、或羧甲基纤维素钠;所述纳米颗粒为金属氧化物颗粒或金属纳米颗粒;所述纳米颗粒的大小为0.1μm~100μm;(c).用腐蚀液去除所述光刻胶保护膜,使所述非电极区和所述电极区的折射率相同或相近、雾度相差≤3%、透过率相差≤1%。2.如权利要求1所述的导电薄膜的消影方法,其特征在于:所述溶剂的含量为95%~99%,所述基质物的含量为0.01%~3%。3.如权利要求2所述的导电薄膜的消影方法,其特征在于:所述基质物的含量为0.05%~1%。4.如权利要求1所述的导电薄膜的消影方法,其特征在于:所述金属氧化物颗粒为二氧化钛、氧化铁或氧化锌。5.如权利要求1所述的导电薄膜的消影方法,其特征在于:所述纳米颗粒...

【专利技术属性】
技术研发人员:潘中海潘克菲
申请(专利权)人:苏州诺菲纳米科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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