金属有机化合物的制备制造技术

金属有机化合物的制备。一种连续制备有机金属化合物的方法，所述方法包括：提供包括反应器单元的设备，所述反应器单元包括多个混合区和一个或多个传热区；连续地将第一反应物流和第二反应物流通入到具有层流的接触区中以形成反应混合物流，其中第一反应物流和第二反应物流是同向的且实质上有层流，且其中第一反应物是含金属的化合物；将反应混合物流从层流混合区转移到传热区，然后到具有湍流促进装置的混合区中；使反应混合流形成有机金属化合物产物流；控制传热区中产物流的温度和压力以维持多数的有机金属化合物为液相；和转移产物流到分离单元中以分离所述有机金属化合物。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及含金属的化合物领域，尤其是制备有机金属化合物领域。
技术介绍
含金属的化合物在多种应用中使用，例如催化剂和制备金属膜的原料。这些化合物的一种用途是在制备电子器件方面，例如半导体。许多半导体材料是以高纯金属有机(有机金属)化合物采用完善的沉积技术制备，例如金属有机气相外延、金属有机分子束外延、金属有机化学气相沉积和原子层沉积。由于它们与空气反应、自燃性和/或毒性，许多这些金属有机化合物或其起始原料的处理面临了极大挑战。生产这些有机金属化合物时必须小心。通常的有机金属化合物生产方法是小规模间歇方法，其相对容易地控制反应和隔绝氧气。这些间歇方法的产物产率在很宽的范围内变化。例如，制备三甲基镓、三乙基镓和三甲基铟的通常的间歇方法在提纯之前有80-100%的产率。虽然这些方法是有效的，但它们只能有限地生产所需的化合物。需要生产大量的这些有机金属化合物意味着必须进行许多次这样少量的生产，这极大增加所需化合物的成本。美国专利6，495，707公开了一种连续生产三甲基镓(“TMG”)的方法，通过将三氯化镓和三甲基铝加入到蒸馏塔的反应中心，蒸出生成的TMG并在蒸馏塔的顶部收集TMG。该本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种连续制备有机金属化合物的方法，所述方法包括：(a)提供包括反应器单元的设备，所述反应器单元包括多个混合区和一个或多个传热区；(b)连续地将第一反应物流和第二反应物流通入到具有层流的接触区中以形成反应混合物流，其中第一反应物流和第二反应物流是同向的且实质上有层流，且其中第一反应物是含金属的化合物；(c)将反应混合物流从层流混合区转移到传热区，然后到具有湍流促进装置的混合区中；(d)使反应混合流形成有机金属化合物产物流；(e)控制传热区中产物流的温度和压力以维持多数的有机金属化合物为液相；和(f)转移产物流到分离单元中以分离所述有机金属化合物。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：R·S·迪克西特，柏桦，C·D·莫德特兰德，R·A·韦尔，J·G·小彭德格斯特，C·P·克里斯滕森，D·V·舍奈卡特哈特，A·阿曼奇安，K·M·克鲁奇，R·F·珀卡里，
申请(专利权)人：罗门哈斯电子材料有限公司，陶氏环球技术有限公司，
类型：发明
国别省市：