本发明专利技术涉及搬运装置。根据实施方式一方面的搬运装置包括：搬运室；机器人，所述机器人设置在所述搬运室中的一个长侧壁附近；以及线性移动机构，所述线性移动机构具有轨道，所述机器人沿所述轨道在所述搬运室的纵向方向上线性地移动。所述机器人的臂被限定具有如下长度，该长度使得即使所述臂绕所述臂支轴旋转所述臂也不会与另一个长侧壁干涉。所述线性移动机构的所述轨道具有如下长度，该长度使得与所述轨道垂直的所述手的前端到达设置于长侧壁中的多个连接口部之中的位于端部处的连接口部中的预定位置。
【技术实现步骤摘要】
本文所讨论的实施方式涉及搬运装置。
技术介绍
已知一种常规搬运装置，该搬运装置将多关节机器人设置在所谓的EFEM (设备前端模块)的搬运室中，所述多关节机器人搬运用于半导体晶片或液晶面板的基板。常规搬运装置的搬运室大致具有由壁围绕的长方体的形状。构成周壁的一部分的长侧壁设置有多个连接口部，这些连接口部与外界连通。基板的收纳容器和处理室借助这些连接口部彼此连通。设置在搬运室中的多关节机器人大致设置成靠近搬运室的一个侧壁。在本文中，一般的多关节机器人包括具有第一臂和第二臂的臂部，所述第一臂的底端借助第一支轴连接到基座，所述第二臂的底端借助第二支轴连接到第一臂的前端，并且第二臂的前端设置有手。多关节机器人驱动臂部的多个臂以及手，以使得所述手接近收纳容器和处理室。已知的常规技术如例如在日本特开专利第2008-28134号公报中所公开的。然而，当基板被搬入或搬出期望的收纳容器或处理室时，该常规搬运装置应当在将多关节机器人的第一臂、第二臂和手彼此连动的情况下使得该多关节机器人执行极其复杂的运动。因此，存在这样的可能性，即，手到收纳容器或处理室的接近速度降低。此外，存在这样的可能性，即，伴随该复杂的运动，手的接近位置的精度也降低。实施方式的一方面的目的在于提供一种能够改善手至收纳容器或处理室的接近速度以及改善接近位置的精度的 搬运装置。
技术实现思路
根据实施方式的一方面的搬运装置包括:具有基板搬运空间的搬运室；机器人，所述机器人设置在所述搬运室的一个长侧壁附近；以及线性移动机构，所述线性移动机构具有轨道，所述机器人沿着所述轨道在所述搬运室的纵向方向上线性地运动。所述搬运室的所述基板搬运空间由壁所围绕的大致矩形体形成并且设置有多个连通口部，这些连接口部在周壁的长侧壁中并排地设置，用于与外界连通。所述机器人的底端设置在基座上以借助臂支轴水平地旋转，并且所述机器人的前端设置有单个臂，在所述臂上设置有用于水平地旋转的手，所述手保持通过所述连接口部而被搬入和搬出的基板。所述机器人的所述臂被限定具有如下长度，该长度使得即使所述臂绕所述臂支轴旋转所述臂也不会与另一长侧壁干涉。此外，所述线性移动机构的所述轨道具有如下长度，该长度使得与所述轨道垂直的所述手的前端到达所述多个连接口部之中的位于端部处的连接口部中的预定位置。根据实施方式的一方面，可以改善手至收纳容器或处理室的接近速度以及接近位置的精度。附图说明通过参考结合附图考虑时的下面详细描述，将容易获得并更好地理解对本专利技术的更全面认识以及本专利技术的许多附带优点，在附图中:图1是示出根据实施方式的搬运装置的示意性平面图；图2是搬运装置的示意性侧视图；图3是搬运装置的框图；图4是示出搬运装置的搬运操作的示例的示意性说明图；图5是示出搬运装置的搬运操作的示例的示意性说明图；图6A是示出根据第一变形例的搬运装置的示意性平面图；图6B是示出根据第二变形例的搬运装置的示意性平面图；以及 图6C是示出根据第三变形例的搬运装置的示意性平面图。具体实施例方式在下文中，将参照附图详细地说明本公开内容的实施方式的搬运装置。此外，下文公开的实施方式不旨在限制本专利技术。首先，将参考图1至图3来描述根据实施方式的搬运装置10的概要。图1是示出根据本实施方式的搬运装置10的示意性平面图。图2是搬运装置10的示意性侧视图。图3是搬运装置10的框图。如图1和图2所示，搬运装置10包括:搬运室1，该搬运室设置有多个连接口部11，这些连接口部与外界连通；以及水平搬运机器人2，该水平搬运机器人设置在搬运室I中并且能够搬运用于半导体晶片或液晶面板的基板4。搬运室I通常是所谓的EFEM (设备前端模块)的局部清洁室，并且具有由壁围绕的大致长方体的基板搬运空间170。这些壁包括第一长侧壁110、第二长侧壁120、第一短侧壁130、第二短侧壁140、顶壁150以及底壁160。在本文中，第一长侧壁110、第二长侧壁120、第一短侧壁130、第二短侧壁140可以被称为周壁。此外，底壁160的下表面设置有腿部180，这些腿部180将搬运室I支承在安装面100上。搬运室I在顶壁150内设置过滤器单元190，在该过滤器单元中收纳用于净化气体的过滤器。在搬运室I与外界隔绝的情况下，搬运室由过滤器单元190来净化并且通过使用落下的净化气流来清洁其内部。在构成所述搬运室I的周壁的一部分的第一长侧壁110和第二长侧壁120中以直线的方式设置多个连接口部11。在本实施方式中，收纳容器3附接到以预定间隔形成在第一长侧壁110中的两个连接口部11，该收纳容器被称为FOUP (前端开口式片盒)并且在其中能够以多段的方式收纳诸如晶片的基板4。此外，处理室5附接到形成于第二长侧壁120中的三个连接口部11，所述处理室对基板4执行预定处理,例如CVD (化学气相沉积)、曝光、蚀刻和抛光。同时，收纳容器3和处理室5借助诸如遮挡板(shutter)的开闭构件(未示出)被附接到连接口部11。驱动开闭构件的开闭机构7 (见图3)被设置在保持收纳容器3的收纳容器台30以及保持处理室5的处理室台50中。在根据本实施方式的搬运装置10中，中央处理室5与两侧的处理室5相比是大型处理室。然而，处理室5的尺寸或形状能够被合适地设置。此外，只要所谓的FOUP的收纳容器3以及连接这些容器的搬运室I的形状和构造具有基于SEMI (国际半导体设备及材料协会)标准的结构即可。根据本实施方式的机器人2设置在第一长侧壁110附近，并且包括设置有手23的单个臂21，所述手23保持通过连接口部11搬入和搬出的基板4。臂21的底端借助臂支轴210设置在基座20上以能够水平旋转，并且前端设置有待借助手支轴230能水平地旋转的手23 (在下文中，“水平旋转”能够被表述为“转动”)。此夕卜，手23可具有借助该手的叉形前端供放置基板4并且搬运该基板4的构造、其中手能够吸附基板4的构造、或者其中手能够夹持基板4的构造。臂支轴210和手支轴230连接到转动机构(未示出),所述转动机构包括马达、减速翌坐-nfr ο支承臂21的柱形臂支轴210被附接到基座20以能够由收纳在基座20中的升降机构250自由地升降。此外，搬运装置10包括具有轨道60的线性移动机构6，机器人2沿该轨道60在搬运室I的纵向方向上线性地移动。如图1和图2所示，线性移动机构6被设置在搬运室I的第一长侧壁110的大致中央，而由左收纳容器和右收纳容器3夹设。换句话说，线性移动机构6包括外壳600，该外壳600设置成定位在左收纳容器和右收纳容器3之间而位于第一长侧壁110的大致中央。用作线性致动器的滚珠丝杠机构61设置在外壳600中。此 外，轨道60具有与基板搬运空间170和外壳600连通的狭缝，所述轨道60形成在外壳600的面向所述搬运室I的基板搬运空间170的侧面上。如图2所示，滚珠丝杠机构61包括滚珠丝杠轴610和驱动马达620，所述滚珠丝杠轴在外壳600的下部沿纵向方向延伸，所述驱动马达联接到滚珠丝杠轴610的一端。此外，能够使用线性马达来取代滚珠丝杠机构。此外，根据本实施方式的线性移动机构6包括收纳框架630，在该收纳框架中能够收纳机器人2，并且该收纳框架沿着轨道60移动。如图2所示，机器人2能够移动到该机器人被收纳在收纳框架63本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种搬运装置，所述搬运装置包括：搬运室，所述搬运室具有由壁围绕的大致矩形体的基板搬运空间，并且所述搬运室具有多个连接口部，这些连接口部在周壁的长侧壁中并排地设置，用于与外界连通；机器人，所述机器人设置在所述搬运室的一个长侧壁附近，所述机器人的底端设置在基座上以借助臂支轴水平地旋转，并且所述机器人的前端设置有单个臂，在所述臂上设置有用于水平地旋转的手，所述手保持通过所述连接口部而被搬入和搬出的基板；以及线性移动机构，所述线性移动机构具有轨道，所述机器人沿着所述轨道在所述搬运室的纵向方向上线性地移动，其中：所述机器人的所述臂被限定为具有如下长度，该长度使得即使所述臂绕所述臂支轴旋转所述臂也不会与另一长侧壁干涉；并且所述线性移动机构的所述轨道具有如下长度，该长度使得与所述轨道垂直的所述手的前端到达所述多个连接口部之中的位于端部处的连接口部中的预定位置。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：古市昌稔，日野一纪，进大介，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：
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