蒸镀方法、蒸镀装置和有机EL显示装置制造方法及图纸

使基板(10)与蒸镀掩模(70)在隔开固定间隔的状态下相对地移动，同时使从蒸镀源(60)的蒸镀源开口(61)放出的蒸镀颗粒(91)依次通过限制板单元(80)所具有的多个限制板(81)间的空间(82)和蒸镀掩模的掩模开口(71)并附着在基板上，形成覆膜(90)。判断是否需要对多个限制板中的至少一个的X轴方向位置进行校正，在需要进行校正的情况下，对多个限制板中的至少一个的X轴方向位置进行校正。由此，能够在大型基板上的预期位置上稳定地形成抑制了端缘的模糊的覆膜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀方法和蒸镀装置。并且，本专利技术涉及具备通过蒸镀形成的发光层的有机EL(Electro Luminescence:场致发光)显示装置。
技术介绍
近年来，各种各样的商品和领域中使用平板显示器，要求平板显示器的更进一步的大型化、高画质化、低耗电化。在这种状况下,具备利用有机材料的电场发光(Electro Luminescence)的有机EL元件的有机EL显示装置，作为全固体型且在低电压可驱动、高速响应性、自发光性等方面优异的平板显示器，受到高度关注。在例如有源矩阵方式的有机EL显示装置中，在设置有TFT(薄膜晶体管)的基板上设置薄膜状的有机EL元件。在有机EL元件中，在一对电极间叠层有包含发光层的有机EL层。TFT与一对电极中的一个电极连接。通过向一对电极间施加电压使发光层发光来进行图像显示。在全彩色的有机EL显示装置中，通常，具备红色(R)、绿色(G)、蓝色⑶各种颜色的发光层的有机EL元件作为子像素排列形成在基板上。通过使用TFT使这些有机EL元件有选择地以所希望的亮度发光来进行彩色图像显示。为了制造有机EL显示装置，需要在每个有机EL元件中以规定图案形成包含发出各种颜色的光的有机发光材料的发光层。作为以规定图案形成发光层的方法，例如已知有真空蒸镀法、喷墨法、激光转印法。例如，在低分子型有机EL显示装置(OLED)中，多使用真空蒸镀法。在真空蒸镀法中，使用形成有规定图案的开口的掩模(也被称为荫罩)。使密合固定有掩模的基板的被蒸镀面面向蒸镀源。然后，使来自蒸镀源的蒸镀颗粒(成膜材料)通过掩模的开口蒸镀在被蒸镀面上，由此形成规定图案的薄膜。蒸镀按每个发光层的颜色进行(将此称为“分涂蒸镀”)。例如在专利文献1、2中记载了使掩模相对于基板依次移动来进行各种颜色的发光层的分涂蒸镀的方法。在这种方法中，使用与基板同等大小的掩模，在蒸镀时掩模以覆盖基板的被蒸镀面的方式固定。在这种现有的分涂蒸镀法中，如果基板增大，随之掩模也需要大型化。但是，如果增大掩模，由于掩模的自重弯曲和拉伸，在基板与掩模之间容易产生缝隙。并且该缝隙的大小根据基板的被蒸镀面的位置而有所不同。因此，难以实现高精度的图案化，发生蒸镀位置的偏离或混色，难以实现高精细化。并且，如果增大掩模，掩模和保持掩模的框架等变得巨大，其重量也增加，因而处理变得困难，可能对生产性和安全性带来麻烦。而且，蒸镀装置和该装置所附带的装置也同样巨大化、复杂化，因而装置设计变得困难，设置成本也变得昂贵。因此，利用专利文献1、2中记载的现有的分涂蒸镀法难以适应大型基板，例如对于超过60英寸的大型基板，难以以批量生产的水平进行分涂蒸镀。专利文献3中记载了使蒸镀源和蒸镀掩模相对于基板相对移动，同时使从蒸镀源放出的蒸镀颗粒通过蒸镀掩模的掩模开口后，使其附着在基板上的蒸镀方法。如果采用该蒸镀方法，即使是大型的基板，也不需要使蒸镀掩模相应地大型化。在专利文献4记载了在蒸镀源与蒸镀掩模之间,配置形成有直径约为0.1mm 1_的蒸镀束通过孔的蒸镀束方向调整板。通过使从蒸镀源的蒸镀束放射孔放出的蒸镀颗粒通过在蒸镀束方向调整板上形成的蒸镀束通过孔，能够提高蒸镀束的指向性。现有技术文献专利文献专利文献1:特开平8-227276号公报专利文献2:特开2000-188179号公报专利文献3:特开2004-349101号公报专利文献4:特开2004-103269号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题根据专利文献3记载的蒸镀方法， 能够使用小于基板的蒸镀掩模，因而容易进行对大型基板的蒸镀。但是，由于需要使蒸镀掩模相对于基板相对移动，因而需要使基板与蒸镀掩模分离。在专利文献3中，由于蒸镀掩模的掩模开口会射入从各个方向飞来的蒸镀颗粒，所以在基板上形成的覆膜的宽度变得比掩模开口的宽度大，导致在覆膜的外缘出现模糊(毛边)。在专利文献4中记载了利用蒸镀束方向调整板来提高射入蒸镀掩模的蒸镀束的指向性。但是，在实际的蒸镀工序中，蒸镀源和蒸镀束方向调整板被升温，根据各自的热膨胀系数发生热膨胀。并且，由于在蒸镀束方向调整板上附着着大量的蒸镀材料，需要定期更换新的。由于这种热膨胀和更换，蒸镀源的蒸镀束放射孔与蒸镀束方向调整板的蒸镀束通过孔的相对的位置有可能发生偏离(偏移)。蒸镀束通过孔的直径约为0.1mm 1_，非常小，因此蒸镀束放射孔与蒸镀束通过孔的一点点的位置偏离就会引起从蒸镀束放射孔放出的蒸镀颗粒不能通过蒸镀束通过孔。在这种情况下，不能在基板上的预期的位置上形成覆膜。本专利技术的目的在于提供一种能够在基板上的预期位置上稳定地形成外缘的模糊得到抑制的覆膜的、能够适用于大型基板的蒸镀方法和蒸镀装置。并且，本专利技术的目的在于提供一种可靠性和显示品质优异的大型的有机EL显示>J-U ρ α装直。解决技术问题的技术方案本专利技术的蒸镀方法是在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀方法，该蒸镀方法具有使蒸镀颗粒附着在上述基板上以形成上述覆膜的蒸镀工序。上述蒸镀工序是使用蒸镀单元使蒸镀颗粒附着在上述基板上的工序，上述蒸镀单元包括:具备在第一方向上的不同位置配置的多个蒸镀源开口的蒸镀源；配置在上述多个蒸镀源开口与上述基板之间的蒸镀掩模；和包括沿着上述第一方向配置的多个限制板且配置在上述蒸镀源与上述蒸镀掩模之间的限制板单元。在上述蒸镀工序中，使用上述蒸镀单元，在使上述基板与上述蒸镀掩模隔开固定间隔的状态下，使上述基板和上述蒸镀单元中的一个，沿着与上述基板的法线方向和上述第一方向正交的第二方向，相对于上述基板和上述蒸镀单元中的另一个相对移动，同时使从上述多个蒸镀源开口放出且通过在上述第一方向上相邻的上述限制板间的空间和在上述蒸镀掩模上形成的多个掩模开口的蒸镀颗粒附着在上述基板上。上述蒸镀方法的特征在于，还具有:判断工序，判断是否需要对上述多个限制板中的至少一个在上述第一方向上的位置进行校正；和校正工序，在上述判断工序中判断为需要进行校正的情况下，对上述多个限制板中的至少一个在上述第一方向上的位置进行校正。本专利技术的有机EL显示装置具备使用上述本专利技术的蒸镀方法形成的发光层。本专利技术的蒸镀装置的特征在于，上述蒸镀装置是在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀装置，该蒸镀装置包括:蒸镀单元，上述蒸镀单元具备:具备在第一方向上的不同位置配置的多个蒸镀源开口的蒸镀源，配置在上述多个蒸镀源开口和上述基板之间的蒸镀掩模，和包含沿着上述第一方向配置的多个限制板且配置在上述蒸镀源与上述蒸镀掩模之间的限制板单元；在使上述基板与上述蒸镀掩模隔开固定间隔的状态下，使上述基板和上述蒸镀单元中的一个，沿着与上述基板的法线方向和上述第一方向正交的第二方向，相对于上述基板和上述蒸镀单元中的另一个相对移动的移动机构；和对上述多个限制板中的至少一个在上述第一方向上 的位置进行校正的位置调整机构。专利技术效果根据本专利技术的蒸镀方法和蒸镀装置，使基板和蒸镀单元中的一个相对于另一个相对移动，同时使通过形成于蒸镀掩模的掩模开口的蒸镀颗粒附着在基板上，因而能够使用比基板小的蒸镀掩模。因此，对于大型基板也能够通过蒸镀形成覆膜。设置在蒸镀源开口与蒸镀掩模之间的多个限制板，对应于射入在第一方向上相邻的限制板间的空间的蒸镀颗粒的入射角度，有选择地捕捉该蒸镀颗粒，因此本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：川户伸一，井上智，园田通，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：
国别省市：