依次配置有蒸镀源(60)、限制板单元(80)、蒸镀掩模(70)。限制板单元具备沿一个方向配置的多个限制板(81)。限制板单元的规定限制空间(82)的面(83)和限制板单元的与蒸镀源相对的面(84)中的至少一部分，由相对于基部(85)能够装卸的至少一个外面部件(110、120)构成。由此，能获得能够在大型的基板上形成端缘的模糊受到抑制的覆膜的维护性优良的蒸镀装置。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀装置和蒸镀方法。另外，本专利技术涉及具有利用蒸镀形成的发光层的有机EL(Electro Luminescence:电致发光)显示>J-U ρ α装直。
技术介绍
近年来，在各种各样的商品和领域中使用平板显示器，要求平板显示器的进一步大型化、高品质化和低耗电化。在那样的状況下,具备利用有机材料的电场发光(Electro Luminescence)的有机EL元件的有机EL显示装置，作为全固体型、且在低电压可驱动、高速响应性、自发光性等方面优异的平板显示器，受到高度关注。在例如有源矩阵方式的有机EL显示装置中，在设置有TFT(薄膜晶体管)的基板上设置有薄膜状的有机EL元件。在有机EL元件中，在一对电极间层叠有包含发光层的有机EL层。TFT与一对电极中的一个电极连接。通过向一对电极间施加电压使发光层发光来进行图像显示。在全彩色的有机EL显示装置中，通常具有红(R)、绿(G)、蓝⑶各种颜色的发光层的有机EL元件作为子像素排列形成在基板上。通过使用TFT使这些有机EL元件有选择地以期望的亮度发光来进行彩色图像显示。为了制造有机EL 显示装置，需要在每个有机EL元件中以规定图案形成包含发出各种颜色的光的有机发光材料的发光层。作为以规定图案形成发光层的方法，例如已知有真空蒸镀法、喷墨法、激光转印法。例如，在低分子型有机EL显示装置(OLED)中，多使用真空蒸镀法。在真空蒸镀法中，使用形成有规定图案的开口的掩模(也被称为荫罩)。使密合固定有掩模的基板的被蒸镀面朝向蒸镀源。然后，使来自蒸镀源的蒸镀颗粒(成膜材料)通过掩模的开口蒸镀到被蒸镀面上，由此形成有规定图案的薄膜。蒸镀按每个发光层的颜色进行(将这称为“分涂蒸镀”)。例如在专利文献1、2中，记载有使掩模相对于基板依次移动来进行各种颜色的发光层的分涂蒸镀的方法。在这样的方法中，使用与基板同等大小的掩模，在蒸镀时掩模以覆盖基板的被蒸镀面的方式被固定。在这种现有的分涂蒸镀法中，如果基板增大，随之掩模也需要大型化。但是，如果增大掩模，由于掩模 的自重弯曲和拉伸，在基板与掩模之间容易产生间隙。而且该间隙的大小根据基板的被蒸镀面的位置而有所不同。因此，难以实现高精度的图案化，发生蒸镀位置的偏离或混色，难以实现高精细化。另外，如果增大掩模，掩模和保持掩模的框架等变得巨大，其重量也增加，因而处理变得困难，可能对生产性和安全性带来麻烦。而且，蒸镀装置和该装置所附带的装置也同样巨大化、复杂化，因而装置设计变得困难，设置成本也变得昂贵。因此，在专利文献1、2记载的现有的分涂蒸镀法难以适应大型基板，例如对于超过60英寸的大型基板，难以以批量生产的水平进行分涂蒸镀。在专利文献3中记载了使蒸镀源和蒸镀掩模相对于基板相对移动，同时使从蒸镀源放出的蒸镀颗粒通过蒸镀掩模的掩模开口后附着于基板的蒸镀方法。如果采用该蒸镀方法，即使是大型的基板，也不需要使蒸镀掩模相应地大型化。在专利文献4中记载了在蒸镀源与蒸镀掩模之间，配置形成有直径约为0.1mm Imm的圆柱状或棱柱状的蒸镀束通过孔的蒸镀束方向调整板。通过使从蒸镀源的蒸镀束放射孔放出的蒸镀颗粒通过在蒸镀束方向调整板上形成的蒸镀束通过孔，能够提高蒸镀束的指向性。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开平8-227276号公报专利文献2:日本特开2000-188179号公报专利文献3:日本特开2004-349101号公报 专利文献4:日本特开2004-103269号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题根据在专利文献3中记载的蒸镀方法，能够使用小于基板的蒸镀掩模，因而容易对大型的基板进行蒸镀。但是，由于需要使蒸镀掩模相对于基板相对移动，所以需要使基板与蒸镀掩模分离。在专利文献3中，蒸镀掩模的掩模开口会射入从各个方向飞来的蒸镀颗粒，所以在基板上形成的覆膜的宽度变得比掩模开口的宽度大，导致在覆膜的外缘出现模糊(扩散、晕染、毛边)。在专利文献4中记载了利用蒸镀束方向调整板来提高射入蒸镀掩模的蒸镀束的指向性。但是，在实际的蒸镀工序中，形成于蒸镀束方向调整板的蒸镀束通过孔的内周面、蒸镀束方向调整板的与蒸镀源相对的面(下表面)附着蒸镀材料。当蒸镀束通过孔的内周面上的蒸镀材料的附着量变多时，蒸镀束通过孔的有效直径缩小，造成通过蒸镀束通过孔的蒸镀颗粒量减少，或者不能够充分发挥使蒸镀束的指向性提高的作用。另外，在蒸镀束通过孔的内周面、蒸镀束方向调整板的下表面附着的蒸镀材料有可能发生剥离落到蒸镀源上，堵塞蒸镀源的蒸镀束放射孔。为了避免这些情况，需要将附着了蒸镀材料的蒸镀束方向调整板更换为新的蒸镀束方向调整板。但是，蒸镀束方向调整板的更换作业繁杂，需要较多的劳力和时间，其结果是，存在批量生产时的吞吐量降低的问题。本专利技术的目的在于提供能够在大型的基板上形成端缘的模糊受到抑制的覆膜的、维护性优良的蒸镀装置。另外，本专利技术的目的在于提供使用这种蒸镀装置的、批量生产性优良的蒸镀方法。进而，本专利技术的目的在于提供可靠性和显示品质优良的、低廉且大型的有机EL显示装置。解决技术问题的技术手段本专利技术的蒸镀装置在基板上形成规定图案的覆膜，上述蒸镀装置包括:蒸镀单元，其包括蒸镀源、蒸镀掩模和限制板单元，上述蒸镀源具有至少一个蒸镀源开口，上述蒸镀掩模配置于上述至少一个蒸镀源开口与上述基板之间，上述限制板单元配置于上述蒸镀源与上述蒸镀掩模之间且包含沿第一方向配置的多个限制板；和移动机构，其在使上述基板和上述蒸镀掩模分离固定间隔的状态下，使上述基板和上述蒸镀单元中的一个，沿与上述基板的法线方向和上述第一方向正交的第二方向，相对于上述基板和上述蒸镀单元中的另一个相对移动。使从上述至少一个蒸镀源开口放出且通过在上述第一方向上相邻的上述限制板间的限制空间和形成于上述蒸镀掩模的多个掩模开口的蒸镀颗粒附着于上述基板，形成上述覆膜。上述限制板单元具有:基部；和相对于上述基部能够装卸的至少一个外面部件，上述至少一个外面部件构成上述限制板单元的规定上述限制空间面和上述限制板单元的与上述蒸镀源相对的面中的至少一部分。本专利技术的蒸镀方法具有使蒸镀颗粒附着于基板上而形成规定图案的覆膜的蒸镀工序，使用上述本专利技术的蒸镀装置进行上述蒸镀工序。本专利技术的有机EL显示装置具备使用上述本专利技术的蒸镀方法形成的发光层。专利技术效果根据本专利技术的蒸镀装置和蒸镀方法，一边使基板和蒸镀单元中的一个相对于另一个相对移动，一边使通过了形成于蒸镀掩模的掩模开口的蒸镀颗粒附着于基板，所以能够使用比基板小的蒸镀掩模。因此，即使也能够对大型基板形成通过蒸镀得到的覆膜。设置于蒸镀源开口和蒸镀掩模之间的多个限制板将入射到在第一方向相邻的限制板间的限制空间的蒸镀颗粒根据其入射角度有选择地进行捕捉，所以仅规定的入射角度以下的蒸镀颗粒射入掩模开口。由此，蒸镀颗粒对基板的最大入射角度变小，所以能够抑制形成于基板的覆膜的端缘产生的模糊。蒸镀材料的附着量多的、限制板单元的外表面的区域由能够装卸的外面部件构成，所以附着有蒸镀材料时，不更换整个限制板单元，仅更换该外面部件即可。因而，能够简单地在短时间内进行限制板单元的再生作业。由此，本专利技术的蒸镀装置的维护性优良。本专利技术的有机EL显示装置具备使用上述蒸镀方法形成的发光层，所以能够低廉本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：川户伸一，井上智，园田通，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。