下载蒸镀装置、蒸镀方法和有机EL显示装置的技术资料

文档序号:9010418

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依次配置有蒸镀源(60)、限制板单元(80)、蒸镀掩模(70)。限制板单元具备沿一个方向配置的多个限制板(81)。限制板单元的规定限制空间(82)的面(83)和限制板单元的与蒸镀源相对的面(84)中的至少一部分,由相对于基部(85)能够装卸...
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