一种铜锌锡硫薄膜的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种铜锌锡硫薄膜的制备方法，该方法包括如下步骤：将沉积有钼层的衬底加热至300～400℃，调节电流至30～70mA，采用蒸镀法，蒸汽状的镀膜材料沉积在所述钼层上，得到第一层薄膜，所述第一层薄膜表面呈贫铜富锌状态；调节衬底的温度至400～600℃，调节电流至80～150mA，采用蒸镀法，沉积得到第二层薄膜，所述第二层薄膜表面呈富铜状态；调节衬底的温度为400～600℃，调节电流至20～70mA，采用蒸镀法，沉积得到第三层薄膜，所述第三层薄膜表面呈贫铜状态。本发明专利技术提供的单源三步共蒸镀法可以制造出高效率、高均匀度的薄膜，从而提高了太阳能电池的效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，还涉及所述铜锌锡硫薄膜在太阳能电池中的应用，属于光伏

技术介绍
作为被美国能源部和其他知名太阳能电池研究机构列为最有发展前景的薄膜太阳能电池技术，铜铟镓硒太阳能电池技术正凭借着其广泛的优势吸引着越来越多的研究人员和投资者。迄今为止，铜铟镓硒太阳能电池的效率在实验室中已经突破了 20.3%，与单晶硅相当。同时，越来越多的公司、机构正在致力于这项技术的试生产和商业扩大化。然而，铜铟镓硒太阳能电池的工业化进程目前仍然落后于单晶硅太阳能电池和其他薄膜太阳能电池，例如碲化镉薄膜电池。目前铜铟镓硒太阳能电池实现大规模量产的最大障碍依然是其高昂的生产成本，因此整个行业迫切的需要寻找到一种有效方法来克服这一障碍，要将铜铟镓硒太阳能电池板的大规模量产成本降到I美元/瓦以下，只有用矿源丰富的锌、锡分别替代稀有元素铟、镓，从而可实现大幅度降低原材料成本。铜锌锡硫(硒)的物质结构与铜铟镓硒的物质结构完全一样， 铜锌锡硫(硒)太阳能电池结构也与铜铟镓硒电池结构相同。铜锌锡硫(硒)薄膜的制备方法分为真空和非真空方法。目前最成功方法是非真空的溶液法，其效率可达到11.1%，但由于使用有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种铜锌锡硫硒薄膜的制备方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：（1）将沉积有钼层的衬底加热至300～400℃，调节电流至30～70mA，采用蒸镀法，蒸汽状的镀膜材料沉积在所述钼层上，得到第一层薄膜，所述第一层薄膜表面呈贫铜富锌状态；（2）调节衬底的温度至400～600℃，调节电流至80～150mA，采用蒸镀法，沉积得到第二层薄膜，所述第二层薄膜表面呈富铜状态；（3）调节衬底的温度为400～600℃，调节电流至20～70mA，采用蒸镀法，沉积得到第三层薄膜，所述第三层薄膜表面呈贫铜状态。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐从康，
申请(专利权)人：无锡舒玛天科新能源技术有限公司，
类型：发明
国别省市：