真空排气装置的联接结构和真空排气系统制造方法及图纸

技术编号:8983094 阅读:167 留言:0更新日期:2013-08-01 01:46
真空排气装置的联接结构为分别包括泵室和划定所述泵室的壳体的真空排气装置的联接结构,所述联接结构包括:第一端面,形成于所述壳体的第一侧;第二端面,形成于所述壳体的与所述第一侧相反的所述第二侧,以多个真空排气装置中设置于第一真空排气装置的所述第一端面与设置于所述第二真空排气装置的所述第二端面接触的方式,直接重叠配置所述第一真空排气装置的所述壳体和所述第二真空排气装置的所述壳体,通过紧固所述第一端面与所述第二端面,在所述第一真空排气装置的所述壳体和所述第二真空排气装置的所述壳体之间气体可流通地联接所述第一真空排气装置和所述第二真空排气装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:铃木敏生田中智成柴山浩司冈本正智
申请(专利权)人:株式会社爱发科
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国别省市:

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