真空泵送系统技术方案

本发明专利技术涉及一种用于排空真空腔（12）的真空泵送系统（10），该系统包括：真空泵（16）；以及用于将气体输送到真空泵的多个前级管线（22,24），其中，在腔排空的第一低真空阶段，第一前级管线装置（22）可以被连接，用于将气体输送到真空泵，并且在腔排空的第二较高真空阶段，包括所述前级管线中的一个或多个前级管线的第二前级管线装置（22,24）可以被连接，用于将气体输送到真空泵，其中，第二前级管线装置的用于输送流体的总体横截面积大于第一前级管线装置的总体横截面积。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·A·加尔特里，D·A·图雷尔，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：
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