泵送系统中的泵送方法以及真空泵系统技术方案

本发明专利技术涉及一种泵送系统(SP、SPP)中的泵送方法，该泵送系统包括：主要润滑回转叶片式真空泵(3)，具有连接至真空室(1)的气体入口孔(2)且具有气体出口孔(4)，该气体出口孔(4)在通向管道(5)之后，通向该真空泵系统(SP、SPP)的气体出口(8)；止回阀(6)，安置在该气体出口孔(4)和该气体出口(8)之间的该管道(5)中；以及，喷射器(7)，并联连接该止回阀(6)。根据此方法，该主要润滑回转叶片式真空泵(3)进行工作，以泵送包含在该真空泵(1)中的气体通过该气体出口孔(4)；同时，该喷射器(7)被供给有工作流体，并且该喷射器(7)在该主要润滑回转叶片式真空泵(3)泵送包含在该真空室(1)中的气体的整个时间期间和/或在该主要润滑回转叶片式真空泵(3)将该真空室(1)维持在一个预定压力的整个时间期间被持续供给有工作流体。本发明专利技术还涉及一种适于用来实施此方法的泵送系统(SP、SPP)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种泵送方法，使得可以在主泵是润滑回转叶片式真空泵的泵送系统中减少电能量消耗同时改善流速和最终真空方面的性能。本专利技术同样涉及可以被用来实现根据本专利技术的方法的泵送系统。
技术介绍
提高真空泵的性能、减少安装成本以及工业中的能量消耗的总体趋势带来了驱动器等中的性能、节能、庞大体积方面的显著进步。现有技术表明，为了提高最终真空和为了减少能量消耗，必须在多级罗茨真空泵或多级爪式真空泵中增加补充级。对于螺杆真空泵，必须存在螺杆的额外转动和/或必须增加内部压缩的速率。对于润滑回转叶片式真空泵，也必须串联增加一个或多个补充级并且增加内部压缩速率。关于旨在改善最终真空并且增加流速的泵送系统的现有技术表明，罗茨型增压泵被布置在主要润滑回转叶片式泵的上游。此类型的系统体积庞大，与带来可靠性问题的旁通阀一起操作或通过使用测量、控制、调节或伺服控制装置来操作。然而，必须以主动方式控制这些控制、调节或伺服控制的装置，这必然导致该系统的组件数量、其复杂性以及其成本的增加。
技术实现思路
本专利技术具有的一个目的是提出一种泵送系统中的泵送方法，使得可以减少使一个室处于真空和维持该室中的真空所需要的电能量，以及实现出口气体的温度中的降低。本专利技术还具有的一个目的是提出一种泵送系统中的泵送方法，使得在真空泵的泵送期间，与借助于单个润滑回转叶片式真空泵所获得的流速相比，能够在低压下获得更高的流速。本专利技术另外具有的一个目的是提出一种泵送系统中的泵送方法，使得在真空室中，与借助于单个润滑回转叶片式真空泵所获得的真空相比，能够获得更好的真空。本专利技术的这些目的是借助于在泵送系统的框架内实现的泵送方法达成的，该泵送系统的配置基本上由一个主要润滑回转叶片式真空泵组成，该主要润滑回转叶片式真空泵装配有连接至真空室的气体入口孔以及装配有气体出口孔，该气体出口孔在通向装配有止回阀的一个管道之后，通向大气中或通向其他设备中。喷射器的吸入端并联连接至此止回阀，其出口进入大气或在该止回阀之后重新接合该主泵的管道。这样的泵送方法尤其是独立权利要求1的主题。此外，本专利技术的不同优选实施方案是从属权利要求的主题。该方法基本上由为该喷射器供给工作流体组成，并使该喷射器不仅在该主要润滑回转叶片式真空泵泵送包含在该真空室中的气体通过该气体入口孔的整个时间期间，而且在该主要润滑回转叶片式真空泵通过排出上升通过其出口的气体来将该室维持在一个预定压力(例如最终真空)的整个时间期间持续地操作。根据第一方面，本专利技术存在这样的事实，该主要润滑回转叶片式真空泵和该喷射器的耦合不需要测量和特定装置(例如用于压力、温度、电流等的传感器)、伺服控制器或数据管理和计算。因此，适用于实施根据本专利技术的泵送方法的泵送系统包括最小数量的组件、非常简单且比现有系统便宜地多。本质上，集成在该泵送系统中的该喷射器根据本泵送方法可以一直操作而没有损坏。该喷射器的尺寸由用于操作该装置的工作流体的最小消耗决定。该喷射器通常是单级式的。根据由该止回阀限制的该主要润滑回转叶片式真空泵的出口管道的容积来选择该喷射器的额定流速。此流速可以是该主要润滑回转叶片式真空泵的额定流速的1/500到1/20，但是也可以比这些值更小或更大。用于该喷射器的工作流体可以是压缩空气，也可以是其他气体，例如氮气。被放置在该主要润滑回转叶片式真空泵的出口处的管道中的止回阀可以是市售标准元件。它的尺寸根据该主要润滑回转叶片式真空泵的额定流速设置。尤其是，可以预见，当该主要润滑回转叶片式真空泵的吸入端处的压力在500mbar绝对压力和最终真空(例如100mbar)之间时，该止回阀关闭。根据另一个变体，该喷射器是多级式的。根据又一个变体，该喷射器可以由对在化学工业和半导体工业中通常使用的物质和气体具有耐化学性的材料制成，正如在单级式喷射器变体中和在多级式喷射器的变体中。该喷射器优选地具有小尺寸。根据另一个变体，该喷射器被集成在一个匣体中，该匣体纳入该止回阀。根据又一个变体，该喷射器被集成在一个匣体中，该匣体纳入该止回阀，并且此匣体自身被容纳在该主要润滑回转叶片式真空泵的油分离器中。根据本专利技术的方法的又一个变体，为了满足特定要求，气体在操作该喷射器需要的压力下的流速是以“全面或全无”的方式控制的。实际上，该控制在于测量一个或多个参数，且在于根据某些预定规则将该喷射器投入操作或终止操作。由合适的传感器提供的参数是例如该润滑回转叶片式真空泵的马达电流、由该止回阀限制的该主要润滑回转叶片式真空泵的出口管道的空间内的气体的温度或压力或这些参数的一个组合。从该室的排空周期开始，该压力在此被升高，例如等于大气压。给定该主要润滑回转叶片式真空泵的压缩，在该主要润滑回转叶片式真空泵的出口处排出的气体的压力高于大气压(如果该主要润滑回转叶片式真空泵的出口处的气体被直接排出到大气中)或高于下游所连接的另一个设备的入口处的压力。这导致该止回阀的打开。当此止回阀打开时，感觉该喷射器的作用很小，因为其入口处的压力接近等于在其出口处的压力。相反，当该止回阀在某个压力下闭合(因为该室中的压力同时降低了)时，该喷射器的作用造成该室和该止回阀之后的管道之间的压力差的逐渐减小。在该主要润滑回转叶片式真空泵的出口处的压力变成在该喷射器的入口处的压力，其出口处的压力往往是在该止回阀之后的管道中的压力。在闭合的空间(由该止回阀限制的)内，该喷射器泵送的越多，该主要润滑回转叶片式真空泵的出口处压力降低得越多，因此该室和该主要润滑回转叶片式真空泵的出口之间的压力差减小。此略微的差异减少了该主要润滑回转叶片式真空泵中的内部泄漏，并同时导致该室中的压力的降低，这使得可以改善最终真空。此外，该主要润滑回转叶片式真空泵消耗越来越少的能量用于压缩，并且产生越来越少的压缩热。在控制该喷射器的情况下，当所述传感器处于预定状态或给予初始值时，存在一个用于该泵送系统的启动的初始位置。当该主要润滑回转叶片式真空泵泵送该真空室的气体时，诸如该主要润滑回转叶片式真空泵的马达的电流、该出口管道的空间内的气体的温度和压力的参数开始改变并达到由所述传感器检测到的阈值。这导致该喷射器的接通。当这些参数通过一个时间延时返回到初始范围(在设定值之外)时，该喷射器被停止。根据本专利技术的又一个变体，由压缩机提供在操作该喷射器需要的压力下的气体流动。以值得注意的方式，此压缩机可以由该主要润滑回转叶片式真空泵驱动，或者替代地或附加地，以独立于该主要润滑回转叶片式真空泵的自主方式被驱动。此压缩机可以吸入气体出口管道中的、在该止回阀之后的大气空气或气体。这样一个压缩机的存在致使该润滑回转叶片式真空泵系统独立于压缩气体源，这可以满足某些工业环境的需求。该压缩机可以提供在操作多个喷射器需要的压力下的气体流动，相应地形成具有润滑回转叶片式泵作为主泵的多个真空泵系统的一部分。在连续操作喷射器的情况下以及在根据由合适的传感器控制的参数对该喷射器进行控制的情况下，该压缩机也形成该系统的一部分。另一方面，同样明显的是，机械概念的研究试图减小该主要润滑回转叶片式真空泵的气体出口孔和该止回阀之间的空间，目的是更快地降低此处的压力。附图说明在随后参考附图以例示且以非限制方式给出的示例实施方案的描述的上下文中，以更多的细节显现本专利技术的特征和优势：本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种泵送系统(SP、SPP)中的泵送方法，该泵送系统包括：‑主要润滑回转叶片式真空泵(3)，具有连接至真空室(1)的气体入口孔(2)以及具有气体出口孔(4)，所述气体出口孔(4)在通向管道(5)之后，通向该泵送系统(SP、SPP)的气体出口(8)，‑止回阀(6)，安置在该气体出口孔(4)和该气体出口(8)之间的该管道(5)中，以及‑喷射器(7)，并联连接至该止回阀(6)，该方法的特征在于，该主要润滑回转叶片式真空泵(3)进行工作，以泵送包含在该真空室(1)中的气体通过该气体出口孔(4)；同时该喷射器(7)被供给有工作流体；并且该喷射器(7)在该主要润换回转叶片式真空泵(3)泵送包含在该真空室(1)中的气体的整个时间期间和/或在该主要润滑回转叶片式真空泵(3)将该真空室(1)维持在一个预定压力的整个时间期间被持续供给有工作流体。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种泵送系统(SP、SPP)中的泵送方法，该泵送系统包括：-主要润滑回转叶片式真空泵(3)，具有连接至真空室(1)的气体入口孔(2)以及具有气体出口孔(4)，所述气体出口孔(4)在通向管道(5)之后，通向该泵送系统(SP、SPP)的气体出口(8)，-止回阀(6)，安置在该气体出口孔(4)和该气体出口(8)之间的该管道(5)中，以及-喷射器(7)，并联连接至该止回阀(6)，该方法的特征在于，该主要润滑回转叶片式真空泵(3)进行工作，以泵送包含在该真空室(1)中的气体通过该气体出口孔(4)；同时该喷射器(7)被供给有工作流体；并且该喷射器(7)在该主要润换回转叶片式真空泵(3)泵送包含在该真空室(1)中的气体的整个时间期间和/或在该主要润滑回转叶片式真空泵(3)将该真空室(1)维持在一个预定压力的整个时间期间被持续供给有工作流体。2.根据权利要求1所述的泵送方法，其特征在于，该喷射器(7)的出口在该止回阀(6)之后重新接合该管道(5)。3.根据权利要求1或2所述的泵送方法，其特征在于，该喷射器(7)的尺寸被设置成具有工作流体的最小消耗。4.根据权利要求1到3中任一项所述的泵送方法，其特征在于，根据由该止回阀(6)所限制的、该主要润滑回转叶片式真空泵(3)的出口管道(5)的容积来选择该喷射器(7)的额定流速。5.根据权利要求4所述的泵送方法，其特征在于，该喷射器的流速是该主要润滑回转叶片式真空泵(3)的额定流速的1/500到1/20。6.根据权利要求1到5中任一项所述的泵送方法，其特征在于，该喷射器(7)的工作流体是压缩空气和/或氮气。7.根据权利要求1到6中任一项所述的泵送方法，其特征在于，该喷射器(7)是单级式的或多级式的。8.根据权利要求1到7中任一项所述的泵送方法，其特征在于，当该主要润滑回转叶片式真空泵(3)的吸入端处的压力在500mbar绝对压力和最终真空之间时，该止回阀(6)关闭。9.根据权利要求1到8中任一项所述的泵送方法，其特征在于，该喷射器(7)由对在化学工业和/或半导体工业中通常使用的物质和气体具有增大的耐化学性的材料制成。10.根据权利要求1到9中任一项所述的泵送方法，其特征在于，该喷射器(7)被集成一个匣体中，该匣体纳入该止回阀(6)。11.根据权利要求10所述的泵送方法，其特征在于，该匣体自身被容纳在该主要润滑回转叶片式真空泵的油分离器中。12.根据权利要求1到11中任一项所述的泵送方法，其特征在于，通过压缩机(10)来提供在操作该喷射器(7)需要的压力下的气体流动。13.根据权利要求12所述的泵送方法，其特征在于，该压缩机(10)由该主要润滑回转叶片式真空泵(3)驱动。14.根据权利要求12所述的泵送方法，其特征在于，该压缩机(10)独立于该主要润滑回转叶片式真空泵(3)被自主地驱动。15.根据权利要求12到14中任一项所述的泵送方法，其特征在于，该压缩机(10)吸入气体出口管道(8)中的、在该止回阀(6)之后的大气空气或气体。16.根据权利要求1到15中任一项所述的泵送方法，其特征在于，至少一个操作参数被测量且被用来启动或停止该喷射器(7)。17.根据权利要求16所述的泵送方法，其特征在于，该至少一个操作参数是该主要润滑回转叶片式真空泵3的马达电流、由该止回阀6限制的该主要润滑回转叶片式真空泵的出口管道的空间内的气体的压力、由该止回阀6限制的该主要润滑回转叶片式真空泵的出口管道的空间内的气体的温度或这些参数的一个组合。18.一...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·穆勒，JE·拉切尔，T·伊尔切夫，
申请(专利权)人：阿特利耶博世股份有限公司，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH