A pumping system and pumping method, mainly includes: dry screw vacuum pump (3), is connected to the vacuum chamber (1) gas into an orifice (2) and the gas from the port (4), gas from the port (4) to (5) after the catheter was introduced into the pumping system (SP) (8); the gas outlet valve (6), is located in the gas from the port (4) and a gas outlet (8) between the catheter (5); and, (7), the injector and the check valve (6) connected in parallel. The main dry screw vacuum pump (3) is started to pump the gas contained in the vacuum chamber (1) through the gas leaving the orifice (4). At the same time, the injector (7) is supplied to the working fluid, and the vacuum in the main dry screw pump (3) pumping vacuum chamber (1) during the whole time of the gas contained in the main and / or screw type dry vacuum pump (3) and the vacuum chamber (1) during maintained at a predetermined pressure the whole time, the injector (7) continues to be the supply of working fluid.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及能够改善真空泵系统中的流率和极限真空方面的性能的泵送方法,在该真空泵系统中,主泵是螺杆型干式真空泵,且这同时降低了离开气体的温度及该系统的电能消耗。本专利技术还涉及真空泵系统,其能被用于实现根据本专利技术的方法。
技术介绍
在多种行业(诸如化学行业、制药行业、真空沉积、半导体等)中提高真空泵的性能、减少安装成本与能量消耗量的总体趋势已带来这些驱动器在性能、能量节省、大小等方面的显著发展。现有技术表明,为改善极限真空,必需在多级罗茨型或多级爪型的真空泵中增加附加级。对于螺杆型干式真空泵,附加转动必需被给予螺杆及/或内部压缩比率必需被增加。泵的旋转速度起着很重要的作用,其在室的排空的不同阶段界定泵的操作。在市场上可用的泵的内部压缩比率(其范围是例如在2和20之间)的情况下,以大气压力和约100毫巴或称为强质量流率之间的吸入压力,在泵送阶段中所需要的电力将会非常高。通常的解决方案是使用变速驱动器,该变速驱动器允许速度从而容量的减少或增加随着压力类型的不同准则、最大流量、限制扭矩、温度等而变化。但在减小转速的操作时期,在高压下流率中存在下降,流率与旋转速度成比例。变频驱动器的速度变化产生了附加成本并且笨重。另一通常的解决方案是在罗茨型或爪型的多级真空泵中的某些阶段、或沿着螺杆型干式真空泵中的螺杆在某些很好地界定的位置处使用旁通型阀。此解决方案需要多个零件并且呈现可靠性的问题。目的在于改善极限真空和增加流率的涉及真空泵系统的现有技术显示了布置在主要干式泵上游的罗茨型的升压泵。此种系统是笨重的,并且以具有可靠性问题的旁通阀操作,或者通过采用测量、检查、 ...
【技术保护点】
一种真空泵系统(SP)中的泵送方法,包含:‑主要干式螺杆型真空泵(3),设有连接至真空室(1)的气体进入孔口(2)以及设有气体离开孔口(4),所述气体离开孔口(4)在通向导管(5)之后,导入真空泵系统(SP)的气体出口(8);‑止回阀(6),被定位在该气体离开孔口(4)与该气体出口(8)间的导管(5)中,及‑喷射器(7),与该止回阀(6)并联连接;该方法的特征在于,该主要干式螺杆型真空泵(3)操作,以将包含在该真空室(1)中的气体泵送通过该气体离开孔口(4);同时该喷射器(7)被供给工作流体;及在该主要干式螺杆型真空泵(3)泵送该真空室(1)中所包含的气体的整个时间期间和/或该主要干式螺杆型真空泵(3)将该真空室(1)维持在一个预定压力的整个时间期间,该喷射器(7)持续被供给工作流体。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.03.24 EP PCT/EP2014/0558221.一种真空泵系统(SP)中的泵送方法,包含:-主要干式螺杆型真空泵(3),设有连接至真空室(1)的气体进入孔口(2)以及设有气体离开孔口(4),所述气体离开孔口(4)在通向导管(5)之后,导入真空泵系统(SP)的气体出口(8);-止回阀(6),被定位在该气体离开孔口(4)与该气体出口(8)间的导管(5)中,及-喷射器(7),与该止回阀(6)并联连接;该方法的特征在于,该主要干式螺杆型真空泵(3)操作,以将包含在该真空室(1)中的气体泵送通过该气体离开孔口(4);同时该喷射器(7)被供给工作流体;及在该主要干式螺杆型真空泵(3)泵送该真空室(1)中所包含的气体的整个时间期间和/或该主要干式螺杆型真空泵(3)将该真空室(1)维持在一个预定压力的整个时间期间,该喷射器(7)持续被供给工作流体。2.根据权利要求1所述的泵送方法,其特征在于,该喷射器(7)的出口在该止回阀(6)之后再接合该导管(5)。3.根据权利要求1或2所述的泵送方法,其特征在于,该喷射器(7)被定尺寸,以便具有工作流体的最小消耗。4.根据权利要求1-3中任一项所述的泵送方法,其特征在于,该喷射器(7)的额定流率被选择为该主要干式螺杆型真空泵(3)的离开导管(5)的封闭空间的函数,该封闭空间被该止回阀(6)限制。5.根据权利要求4所述的泵送方法,其特征在于,该喷射器(7)的流率是该主要干式螺杆型真空泵(3)的额定流率的1/500至1/20。6.根据权利要求1-5中任一项所述的泵送方法,其特征在于,该喷射器(7)的工作流体是压缩空气和/或氮。7.根据权利要求1-6中任一项所述的泵送方法,其特征在于,该喷射器(7)是单级的或多级的。8.根据权利要求1-7中任一项所述的泵送方法,其特征在于,当该主要干式螺杆型真空泵(3)的吸入端处的压力在500毫巴绝对压力和极限真空之间时,该止回阀(6)关闭。9.根据权利要求1-8中任一项所述的泵送方法,其特征在于,该喷射器(7)由对在半导体行业中通常使用的物质和气体具有增大的耐化学性的材料制成。10.根据权利要求1-9中任一项所述的泵送方法,其特征在于,该喷射器(7)被整合在一个匣体中,该匣体纳入该止回阀(6)。11.根据权利要求10所述的泵送方法,其特征在于,该匣体被容纳在排气消声器中,该排气消声器被固定至该主要干式螺杆型真空泵(3)的气体离开孔口(5)。12.根据权利要求1-11中任一项所述的泵送方法,其特征在于,在喷射器(7)起作用所需要的压力下的气体流率是由压缩机(10)提供的。13.根据权利要求12所述的泵送方法,其特征在于,该压缩机(10)是由该主要干式螺杆型泵(3)的轴杆中的至少一个驱动的。14.根据权利要求12所述的泵送方法,其特征在于,该压缩机(10)以自主方式被驱动,与该主要干式螺杆型泵(3)无关。15.根据权利要求12-14中任一项所述的泵送方法,其特征在于,该压缩机(10)排...
【专利技术属性】
技术研发人员:D·穆勒,JE·拉切尔,T·伊尔切夫,
申请(专利权)人:阿特利耶博世股份有限公司,
类型:发明
国别省市:瑞士;CH
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