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本发明涉及一种用于排空真空腔（12）的真空泵送系统（10），该系统包括：真空泵（16）；以及用于将气体输送到真空泵的多个前级管线（22,24），其中，在腔排空的第一低真空阶段，第一前级管线装置（22）可以被连接，用于将气体输送到真空泵，并且...
该专利属于爱德华兹有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱德华兹有限公司授权不得商用。

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