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真空排气装置的联接结构和真空排气系统制造方法及图纸
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文档序号:8983094
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真空排气装置的联接结构为分别包括泵室和划定所述泵室的壳体的真空排气装置的联接结构,所述联接结构包括:第一端面,形成于所述壳体的第一侧;第二端面,形成于所述壳体的与所述第一侧相反的所述第二侧,以多个真空排气装置中设置于第一真空排气装置的所述第...
该专利属于株式会社爱发科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社爱发科授权不得商用。
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