对准载物台制造技术

本发明专利技术提供一种对准载物台(10)具备：底板(11)；进行向直线X方向的推力的产生和引导的一个或者多个X方向推力产生引导机构(12)；设置在X方向推力产生引导机构(12)的上方的一对下部板(31)；与下部板(31)对应设置的一对上部板(33)；设置在下部板(31)与上部板(33)之间的一对旋转轴承(32)；Y方向推力产生引导机构(42)，其为进行向与直线X方向正交的直线Y方向的推力的产生和引导的机构，在设有一个X方向推力产生引导机构(12)时设置多个Y方向推力产生引导机构(42)，在设有多个X方向推力产生引导机构(12)时设置一个或者多个Y方向推力产生引导机构(42)；设置在Y方向推力产生引导机构(42)的上方的工作台板(51)。通过这样的结构，能够提供一种实现了紧凑化和组装的容易化的对准载物台。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种通过将直线电动机等的直线驱动源作为驱动力源利用，由此使载置于工作台板上表面的搭载物向直线X方向、直线Y方向及旋转Θ方向移动的对准载物台。
技术介绍
现有已知的对准载物台为通过利用多个产生推力的致动器组件，而能够使载置于工作台板上表面的搭载物向直线X方向、直线Y方向(与X方向正交的方向)及XY平面上的旋转Θ方向移动的装置。在用于现有的对准载物台的致动器组件中利用由旋转电动机与滚珠丝杠的组合来实现的推力产生源和作为将由该推力产生源施加的推力在XY平面上进行引导的引导机构的直线导轨(例如，参考下述专利文献I)。并且，通过利用多个由包括旋转电动机与滚珠丝杠的推力产生源和作为引导机构的直线导轨的组合所构成的致动器组件(例如，三组)，从而实现在直线X方向、直线Y方向及旋转Θ方向上定位搭载物。先行技术文献专利文献专利文献I:日本特开平8-99243号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，在与对准载物台相关的现有技术中，为了实现直线X方向、直线Y方向及旋转Θ方向上的动作，准备分别与XY Θ方向对应的推力产生源，并且采用将这些XY Θ方向用的推力产生源累积而成的结构。由此，在现有的对准载物台中存在整体形状大型化这样的课题。对此，在工业界中，正在寻求能够提供一种实现与现有技术相比进一步的紧凑化的全新的对准载物台的技术。另外，在对上述的现有技术所涉及的三个致动器组件进行安装时，必须在准确的位置处进行安装。即，由于这些三个致动器组件要设置在同一平面上，故必须在取得相互的平衡的状态下进行定位。如此，在现有的对准载物台中，与结构构件的设置条件相关而存在大量的困难的限制。本专利技术就是鉴于上述的现有技术存在的问题而作成的，其目的在于，提供一种具有在现有技术中实现困难的紧凑化用的结构，并且具有组装性良好的结构的完全崭新的对准载物台。用于解决课题的手段本专利技术所涉及的对准载物台物台，其特征在于，具备:底板，其固定在基台上；一个或者多个X方向推力产生引导机构，该一个或者多个X方向推力产生引导机构设置在所述底板上，进行向直线X方向的推 力的产生和引导；一对下部板，该一对下部板设置在所述X方向推力产生引导机构的上方，进行直线X方向上的水平移动；一对上部板，该一对上部板分别与所述一对下部板对应设置；一对旋转轴承，该一对旋转轴承通过设置在所述一对下部板与所述一对上部板各自的上下部板对之间，而实现上部板相对于下部板的旋转Θ方向上的相对自由运动，方向推力产生引导机构，其为设置在所述一对上部板的至少一个上部板的上方，且进行向与直线X方向正交的直线Y方向的推力的产生和引导的机构，并且，在设有一个所述X方向推力产生引导机构时设置多个所述Y方向推力产生引导机构，在设有多个所述X方向推力产生引导机构时设置一个或者多个所述Y方向推力产生引导机构；工作台板，其设置在所述Y方向推力产生引导机构的上方，从而使载置于上表面的搭载物向直线X方向、直线Y方向及旋转Θ方向移动。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种具有在现有技术中实现困难的紧凑化用的结构，且具有组装性良好的结构的全新的对准载物台。附图说明图1是本实施方式所涉及的对准载物台的外观立体图。图2是本实施方式所涉及的对准载物台的结构部件沿着铅垂方向分解时的分解立体图。图3是将本实施方式所涉及的对准载物台的中心部分以与直线X方向正交的纵向剖面观察时的剖视图。图4是用于对在本实施方式所涉及的对准载物台中所采用的直线导轨的具体结构进行说明的图。图5是对本实施方式所涉及的对准载物台的动作原理进行说明的图。图6是例示出能够获取本专利技术所涉及的对准载物台的另一方式例的图。图7是例示出能够获取本专利技术所涉及的对准载物台的又一方式例的图。图8是用于对由图7例示出的又一方式例所涉及的对准载物台的动作进行说明的图。图9是用于对作为具有与本实施方式不同方式的直线电动机的另一方式例的对准载物台进行说明的剖视图。图10是表示由图9示出的不同方式的直线电动机的结构例的概略图，尤其是，图中的分图(a)表示直线电动机的俯视图，分图(b)表示直线电动机的主视图。具体实施例方式以下，关于用于实施本专利技术的优选的实施方式，利用附图进行说明。需要说明的是，以下的实施方式并不是对各权利要求所涉及的专利技术进行限定，另外，在实施方式之中所说明的特征的全部的组合也未必是专利技术的解决手段所必需的。图1是本实施方式所涉及的对准载物台的外观立体图。另外，图2是本实施方式所涉及的对准载物台的结构部件沿着铅垂方向分解时的分解立体图。进而，图3是将本实施方式所涉及的对准载物台的中心部分以与直线X方向正交的纵向剖面观察时的剖视图。本实施方式所涉及的对准载物台10在最下部的位置具有作为水平板状的构件的底板11。该底板11为能够固定在基台上， 且成为对准载物台10的基准的构件。需要说明的是，本实施方式的底板11具有大致正方形的外轮廓形状，但关于该外轮廓形状而言，能够采用任意的形状。在底板11的上方设有进行向直线X方向的推力的产生和引导的一对X方向推力产生引导机构12、12。这些一对X方向推力产生引导机构12、12相对于直线X方向而并列配置，任一个的X方向推力产生引导机构12、12均能够进行沿着直线X方向的推力的产生和引导。本实施方式的X方向推力产生引导机构12通过由作为成为推力产生源的直线驱动源的一个直线电动机13和作为成为引导机构的直线引导装置的两个直线导轨14、14组合而构成，进而，两个直线导轨14、14以夹着一个直线电动机13的两侧的方式配置。直线电动机13为相对于直线X方向而产生推力的同步型直线电动机，包括相对于底板11的上表面而排列成一列的多个线圈构件13a和以与这些线圈构件13a隔有稍稍的间隙而对置的方式相对于后述的下部板31的下表面而固定的磁铁构件13b。磁铁构件13b以沿着直线X方向而使N极及S极交替朝向线圈构件13a的方式排列。需要说明的是，本实施方式的磁铁构件13b利用接合剂而固定排列在下部板31上，但也可以通过对下部板31进行注塑成形，而使磁铁构件13b与下部板31 —体化。另一方面，排列在底板11上的线圈构件13a通过对由铁等的强磁性体形成的铁心构件卷绕线圈而形成，这样的铁心构件的前端与设置于下部板31的磁铁构件13b隔着稍稍的间隙而对置。线圈构件13a与三相交流电流的u相、V相、w相对应设置，三个线圈构件13a构成一组，从而在三相交流电流通电时产生移动磁场。并且，根据这些线圈构件13a产生的移动磁场，对磁铁构件13b与线圈构件13a之间作用磁吸引力或者磁排斥力，从而能够使磁铁构件13b沿着线圈构件13a的排列方向，即，使磁铁构件13b朝向直线X方向推进。需要说明的是，在本实施方式的直线电动机13中采用了带有铁心的直线电动机，但在本专利技术的直线电动机中也 可以采用无铁心型的直线电动机。通过采用没有铁芯的无铁心结构，即便在没有齿槽力地低速行驶时，也能够获得平稳的推进力。另外，如图1及图2所示，在直线电动机13中的直线X方向上的两端部设有止动构件16，因此，物理性地防止了磁铁构件13b从线圈构件13a的配设范围超出而向直线X方向往复移动的情况。进而，在下部板31设有用于对X方向推力产生引导机构12的驱动量进行测定的线性编码器31a。作为该线性编码器31本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：小松贵文，福岛克也，
申请(专利权)人：THK株式会社，
类型：
国别省市：