对准载物台制造技术

本发明专利技术提供一种对准载物台(10)具备：底板(11)；进行向直线X方向的推力的产生和引导的一个或者多个X方向推力产生引导机构(12)；设置在X方向推力产生引导机构(12)的上方的一对下部板(31)；与下部板(31)对应设置的一对上部板(33)；设置在下部板(31)与上部板(33)之间的一对旋转轴承(32)；Y方向推力产生引导机构(42)，其为进行向与直线X方向正交的直线Y方向的推力的产生和引导的机构，在设有一个X方向推力产生引导机构(12)时设置多个Y方向推力产生引导机构(42)，在设有多个X方向推力产生引导机构(12)时设置一个或者多个Y方向推力产生引导机构(42)；设置在Y方向推力产生引导机构(42)的上方的工作台板(51)。通过这样的结构，能够提供一种实现了紧凑化和组装的容易化的对准载物台。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种通过将直线电动机等的直线驱动源作为驱动力源利用，由此使载置于工作台板上表面的搭载物向直线X方向、直线Y方向及旋转Θ方向移动的对准载物台。
技术介绍
现有已知的对准载物台为通过利用多个产生推力的致动器组件，而能够使载置于工作台板上表面的搭载物向直线X方向、直线Y方向(与X方向正交的方向)及XY平面上的旋转Θ方向移动的装置。在用于现有的对准载物台的致动器组件中利用由旋转电动机与滚珠丝杠的组合来实现的推力产生源和作为将由该推力产生源施加的推力在XY平面上进行引导的引导机构的直线导轨(例如，参考下述专利文献I)。并且，通过利用多个由包括旋转电动机与滚珠丝杠的推力产生源和作为引导机构的直线导轨的组合所构成的致动器组件(例如，三组)，从而实现在直线X方向、直线Y方向及旋转Θ方向上定位搭载物。先行技术文献专利文献专利文献I:日本特开平8-99243号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，在与对准载物台相关的现有技术中，为了实现直线X方向、直线Y方向及旋转Θ方向上的动作，准备分别与XY Θ方向对应的推力产生源，并且采用将这些XY Θ方向用的推力产生源累积而成的结构。由此，在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：小松贵文，福岛克也，
申请(专利权)人：THK株式会社，
类型：
国别省市：